基于表面应力的MEMS生物传感器研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 生物微机电系统	第8-18页
·生物微机电系统简介	第8-10页
·生物传感器	第10-15页
·表面等离子体共振生物传感器	第12页
·质谱法生物传感器	第12-13页
·表面声波生物传感器	第13页
·表面应力生物传感器	第13-15页
·本文主要研究内容	第15-18页
第二章 生物传感器设计	第18-26页
·生物表面应力	第18-20页
·表面应力偏转测试理论	第20-21页
·表面应力生物传感器概念设计	第21-24页
·本章小结	第24-26页
第三章 微悬臂梁表面应力生物传感器的设计与仿真	第26-38页
·ANSYS简介	第26-28页
·微悬臂梁结构偏转传感模式分析	第28-33页
·悬臂梁结构静力分析	第28-29页
·悬臂梁结构静力仿真	第29-33页
·微悬臂梁结构振动传感模式分析	第33-36页
·悬臂梁弯曲谐振模态	第33页
·谐振式表面应力传感理论	第33-34页
·悬臂梁模态仿真	第34-36页
·本章小结	第36-38页
第四章 微薄膜表面应力生物传感器的设计与仿真	第38-48页
·传感器设计	第38-39页
·建模与仿真	第39-41页
·结果与讨论	第41-46页
·本章小结	第46-48页
第五章 电容式微薄膜表面应力生物传感器制备	第48-58页
·工艺流程设计	第48-52页
·微加工工艺介绍	第48-50页
·加工工艺流程	第50-52页
·微薄膜制备工艺	第52页
·版图及加工过程	第52-56页
·本章小结	第56-58页
第六章 总结与展望	第58-60页
·总结	第58-59页
·展望	第59-60页
参考文献	第60-64页
附录	第64-84页
致谢	第84-86页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第86页