| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外机械手的发展及现状 | 第9-13页 |
| ·机械手的国内外发展与研究现状 | 第9-12页 |
| ·真空专用机械手的国内外发展和研究状况 | 第12-13页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第13-14页 |
| ·论文研究内容 | 第14-15页 |
| 2 机械手机械结构的设计研究 | 第15-25页 |
| ·系统概述 | 第15页 |
| ·机械手机械结构组成 | 第15-18页 |
| ·机械手工作流程分析 | 第15-17页 |
| ·机械手功能分析 | 第17页 |
| ·机械手总体结构组成 | 第17-18页 |
| ·设计要求与技术指标 | 第18页 |
| ·混联调节机构的设计 | 第18-22页 |
| ·两级伸缩机构 | 第19-21页 |
| ·指向调节机构 | 第21-22页 |
| ·搭载小车组件 | 第22页 |
| ·视觉瞄准系统的设计 | 第22-23页 |
| ·控制系统的设计 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 机械手真空系统的设计分析 | 第25-35页 |
| ·概述 | 第25页 |
| ·真空技术基础 | 第25-26页 |
| ·真空概念 | 第25页 |
| ·真空密封 | 第25-26页 |
| ·真空系统的结构设计 | 第26-32页 |
| ·真空系统设计指标 | 第26页 |
| ·真空系统总体设计 | 第26-27页 |
| ·真空室的设计 | 第27-30页 |
| ·真空泵组系统的设计 | 第30-32页 |
| ·真空系统的参数计算与分析 | 第32-34页 |
| ·漏气率的计算与分析 | 第32-33页 |
| ·抽气时间的计算与分析 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 机械手真空室结构有限元分析 | 第35-49页 |
| ·概述 | 第35-36页 |
| ·有限元分析的基本思想与步骤 | 第35-36页 |
| ·Ansys Workbench12.0 软件简介 | 第36页 |
| ·真空室结构静力分析 | 第36-44页 |
| ·结构静力分析理论 | 第36-38页 |
| ·真空室有限元模型的建立 | 第38-42页 |
| ·结果计算及分析 | 第42-44页 |
| ·真空室模态分析 | 第44-48页 |
| ·模态分析的基本方法 | 第44-45页 |
| ·真空室有限元模型建立及边界条件建立 | 第45页 |
| ·计算结果与分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 机械手的工作空间分析 | 第49-56页 |
| ·概述 | 第49页 |
| ·工作空间的定义 | 第49-50页 |
| ·影响机械手混联机构工作空间的因素 | 第50页 |
| ·机械手混联机构工作空间的求解方法 | 第50-51页 |
| ·机械手混联机构的工作空间分析与仿真 | 第51-55页 |
| ·机械手混联机构的位置分析 | 第51-52页 |
| ·机械手混联机构工作空间的计算机仿真 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论及展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 附录 | 第60页 |