| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| ·GaN 材料的介绍 | 第6-7页 |
| ·AlGaN/GaN HEMTs 器件简介 | 第7-8页 |
| ·终端结构的介绍 | 第8-9页 |
| ·场板以及本文研究的结构 | 第9-14页 |
| ·场板研究的一些背景 | 第9-11页 |
| ·场板工作的具体原理以及浮空场板结构的介绍 | 第11-14页 |
| 第二章 软件仿真基本知识 | 第14-26页 |
| ·Silvaco 软件介绍 | 第14页 |
| ·传统场板结构的基本仿真规律 | 第14-19页 |
| ·浮空场板简单结构的一些仿真规律 | 第19-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 栅漏结构浮空场板的仿真研究 | 第26-42页 |
| ·背景介绍 | 第26-27页 |
| ·仿真的具体结构和思路 | 第27-28页 |
| ·仿真的结果及分析 | 第28-39页 |
| ·本章小结 | 第39-42页 |
| 第四章 浮空场板结构实验研究 | 第42-56页 |
| ·实验前准备工作 | 第42-47页 |
| ·版图的介绍 | 第42-43页 |
| ·试验的流程 | 第43-47页 |
| ·测试与分析 | 第47-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 研究成果 | 第64-65页 |