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硒化镉(CdSe)单晶体生长及其室温核辐射探测器

中文摘要第1-3页
英文摘要第3-8页
第一篇 概论第8-19页
 1 引言第8-19页
  1.1 室温半导体探测器材料研究进展第9-11页
  1.2 室温半导体核辐射探测器研究进展第11-14页
  1.3 CdSe晶体与探测器第14-18页
  1.4 本研究的特点第18页
  1.5 小结第18-19页
第二篇 CdSe单晶体的生长第19-49页
 2 原料的多级气相提纯第19-24页
  2.1 原料提纯概况第20页
  2.2 原料提纯原理第20-21页
  2.3 原料化学配比控制第21-22页
  2.4 原料多级提纯工艺与设备第22-23页
  2.5 提纯效果与分析第23页
  2.6 小结第23-24页
 3 晶体的气相生长第24-42页
  3.1 CdSe单晶生长研究现状第24-26页
  3.2 单晶生长方法选择第26-28页
  3.3 气相生长过程中的物质输运第28-30页
  3.4 气相生长过程中的相平衡分析与化学配比控制第30-35页
  3.5 生长工艺参数选择第35页
  3.6 蒸汽压控制第35-36页
  3.7 CdSe晶体生长工艺第36-39页
  3.8 晶体生长结果与分析第39-41页
  3.9 小结第41-42页
 4 CdSe单晶体的性能表征第42-49页
  4.1 禁带宽度第42-43页
  4.2 红外透过率第43-44页
  4.3 位错密度第44-45页
  4.4 电阻率第45-46页
  4.5 电学性能第46-48页
  4.6 小结第48-49页
第三篇 CdSe探测器研制第49-91页
 5室温半导体核辐射探测器概述第49-58页
  5.1 半导体探测器的工作原理第49-50页
  5.2半导体探测器的种类与主要参数第50-54页
  5.3能量分辨率第54-57页
  5.4 探测器中的电荷收集理论第57-58页
 6 CdSe探测器的制备第58-63页
  6.1 晶片加工第58-59页
  6.2 表面处理第59-61页
  6.3 电极技术第61-62页
  6.4 探测器的安装与密封第62页
  6.5 小结第62-63页
 7 接触电极的性质第63-72页
  7.1 欧姆接触第63-64页
  7.2 金属-CdSe接触(M-S接触)第64-68页
  7.3 金属-绝缘体半-导体接触(MIS接触)第68-70页
  7.4 MIS接触与M-S接触的区别与联系——表面能级密度对电子注入的影响第70-71页
  7.5 小结第71-72页
 8 探测器的能谱特性第72-77页
  8.1 测试方法与测试结果第72-74页
  8.2 电荷收集效率η的实验测定第74-75页
  8.3 探测器的余辉效应第75-76页
  8.4 小结第76-77页
 9 探测器的噪声特性——空穴注入对探测器性能的影响第77-82页
  9.1 表面漏电流引起的噪声第77-78页
  9.2 体漏电流引起的噪声第78-82页
  9.3 小结第82页
 10 电子注入对探测器性能的影响第82-87页
  10.1 电子注入对电离施主浓度N_D~+的影响第82-83页
  10.2 电子注入对探测器噪声的影响第83-85页
  10.3 电子注入对极化效应的影响第85-86页
  10.4 晶片质量对极化效应的影响第86页
  10.5 小结第86-87页
 11 探测器的改进设计——对未来工作的展望第87-90页
 12 结论第90-91页
致谢第91页
参考文献第91-97页
附件第97-98页

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