| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·低辐射镀膜玻璃 | 第9-18页 |
| ·低辐射镀膜玻璃节能原理 | 第9-12页 |
| ·低辐射镀膜玻璃功能特点 | 第12-13页 |
| ·低辐射玻璃的节能性能表征 | 第13-14页 |
| ·低辐射玻璃的国内外研究现状 | 第14-15页 |
| ·低辐射玻璃的应用 | 第15-16页 |
| ·低辐射镀膜玻璃制备技术 | 第16-18页 |
| ·氮化锆薄膜 | 第18-23页 |
| ·氮化锆薄膜的特性 | 第18页 |
| ·氮化锆薄膜的国内外研究现状 | 第18-19页 |
| ·常用的氮化锆薄膜制备工艺 | 第19-21页 |
| ·氮化锆薄膜的应用 | 第21-23页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第23-24页 |
| ·课题创新之处 | 第24-25页 |
| 2 溅射镀膜原理 | 第25-29页 |
| ·溅射机理及特点 | 第25-26页 |
| ·基本溅射类型 | 第26-29页 |
| ·直流溅射 | 第26-27页 |
| ·射频溅射 | 第27页 |
| ·反应溅射 | 第27-28页 |
| ·磁控溅射 | 第28-29页 |
| 3 实验 | 第29-34页 |
| ·实验设备和材料 | 第29页 |
| ·基片前处理 | 第29-30页 |
| ·薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·实验方案的确定 | 第31-32页 |
| ·制备氮化锆薄膜的实验方案 | 第31页 |
| ·制备低辐射薄膜的实验方案 | 第31-32页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第32-34页 |
| 4 氮化锆薄膜的制备及性能研究 | 第34-48页 |
| ·工艺参数对氮化锆薄膜光学性能的影响 | 第34-37页 |
| ·氮分量对氮化锆薄膜光学性能的影响 | 第34-35页 |
| ·功率对氮化锆薄膜光学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·溅射时间对氮化锆薄膜光学性能的影响 | 第36-37页 |
| ·氮化锆薄膜的光学常数 | 第37-38页 |
| ·氮化锆薄膜的红外反射率和透射率 | 第38-39页 |
| ·氮化锆薄膜的厚度分析 | 第39-41页 |
| ·氮化锆薄膜的显微硬度 | 第41-42页 |
| ·氮化锆薄膜的组成和结构分析 | 第42-48页 |
| ·氮化锆薄膜的结构分析（XRD） | 第42页 |
| ·氮化锆的表面形貌分析（STM） | 第42-44页 |
| ·氮化锆薄膜扫描隧道谱（STS）分析 | 第44-45页 |
| ·氮化锆薄膜光电子能谱分析（XPS） | 第45-48页 |
| 5 ZRN_X/AG/ZRN_X 低辐射膜的制备及性能研究 | 第48-61页 |
| ·银膜的制备和性能研究 | 第48-51页 |
| ·工艺参数对银膜电学性能的影响 | 第48-50页 |
| ·银膜的光学性能 | 第50-51页 |
| ·ZRN_X/AG/ZRN_X低辐射膜实验结果与分析 | 第51-61页 |
| ·ZrN_x/Ag/ZrN_x 低辐射膜光学性能研究 | 第52-55页 |
| ·ZrN_x/Ag/ZrN_x 复合膜附着力和化学稳定性的研究 | 第55-56页 |
| ·低辐射薄膜的耐湿性能 | 第56-57页 |
| ·低辐射薄膜辐射率和遮阳系数的计算 | 第57-61页 |
| 6 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表论文的目录 | 第67页 |
