摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-9页 |
1 气敏传感器概述 | 第9-23页 |
·传感器及其气敏传感器 | 第9-15页 |
·传感器及其气敏传感器的重要性 | 第9-10页 |
·半导体气敏传感器的分类和主要特性 | 第10-11页 |
·国、内外气敏传感器的研究现状和存在问题 | 第11-14页 |
·气敏传感器的研究发展方向 | 第14-15页 |
·ABO_3 钙钛型矿复合氧化物气敏材料的研究 | 第15-20页 |
·ABO_3 钙钛矿型的结构特性 | 第15-16页 |
·ABO_3 钙钛矿型复合氧化物的气敏性质和应用 | 第16页 |
·影响ABO_3 钙钛矿型复合氧化物气敏性能的因素 | 第16-17页 |
·ABO_3 钙钛矿型复合氧化物的制备 | 第17-19页 |
·ABO_3 钙钛矿型复合氧化物传感器气敏膜的制备方法 | 第19-20页 |
·课题的选取及研究内容 | 第20-23页 |
·纯净ZnSnO_3 粉末的制备 | 第21页 |
·纯ZnSnO_3 粉末的气敏测试 | 第21页 |
·ZnSnO_3 粉末进行贵金属系列掺杂和气敏测试实验 | 第21页 |
·ZnSnO_3 粉末掺杂PdCl_2 制备的氢敏传感器的研究 | 第21页 |
·ZnSnO_3 气敏传感器最加工作温度的研究 | 第21-22页 |
·表征分析 | 第22页 |
·气敏机理研究 | 第22-23页 |
2 离子置换低温烧结法制备ZNSNO_3 及其气敏性能研究 | 第23-37页 |
·序言 | 第23页 |
·实验 | 第23-27页 |
·高纯ZnSnO_3 粉体的制备 | 第23-24页 |
·气敏传感器元件的制备 | 第24-26页 |
·表征 | 第26-27页 |
·结果和讨论 | 第27-35页 |
·粉末物相分析 | 第27-30页 |
·L 法制备的前躯体的DSC-TG 分析结果 | 第30-31页 |
·不同制备方法对灵敏度的影响 | 第31页 |
·加热工作温度和对气体选择性的测定 | 第31-32页 |
·电压特性和恢复-响应时间 | 第32-33页 |
·长期工作稳定性 | 第33-34页 |
·SEM 分析 | 第34-35页 |
·TEM 分析 | 第35页 |
·本章结论 | 第35-37页 |
3 掺杂ZNSNO_3 气敏特性研究 | 第37-51页 |
·引言 | 第37页 |
·实验 | 第37-38页 |
·气敏传感器元件的制备 | 第37页 |
·元件表征及测试 | 第37-38页 |
·结果与讨论 | 第38-49页 |
·不同的添加剂对不同气体灵敏度的影响 | 第38-42页 |
·掺入La_2O_3,TiO_2 的ZnSnO_3 气敏传感器对乙醇的工作温度 | 第42-44页 |
·掺入添加剂的气敏传感器电压特性和响应-恢复时间 | 第44-46页 |
·SEM 分析 | 第46-49页 |
·掺入La_2O_3,TiO_2 的ZnSnO_3 气敏传感器的工作周期对乙醇灵敏度的影响 | 第49页 |
·本章结论 | 第49-51页 |
4 ZNSNO_3 掺杂PDCL_2 制备氢敏传感器特性研究 | 第51-57页 |
·引言 | 第51页 |
·实验 | 第51-52页 |
·PdCl_2 的掺入和传感器的制备 | 第51页 |
·实验表征 | 第51-52页 |
·实验结果和讨论 | 第52-56页 |
·PdCl_2 不同掺杂量对气敏传感器灵敏度的影响 | 第52-53页 |
·掺杂5wt% PdCl_2 气敏元件选择性的测定 | 第53-54页 |
·最佳工作温度测定 | 第54-55页 |
·电压特性曲线和响应-恢复时间 | 第55页 |
·长期工作稳定性 | 第55-56页 |
·小结 | 第56-57页 |
5 复合氧化物半导体ZNSNO_3 传感器气敏机理研究 | 第57-75页 |
·引言 | 第57页 |
·金属氧化物半导体气敏机理 | 第57-65页 |
·气敏机理模型 | 第57-61页 |
·复合氧化物钙钛矿中的点缺陷 | 第61-63页 |
·电阻式半导体气敏传感器的空间电荷层 | 第63-65页 |
·ZNSNO_3 的气敏吸附机理 | 第65-73页 |
·ZnSnO_3 半导体陶瓷的导电机理 | 第65-68页 |
·ZnSnO_3 的表面反应过程 | 第68-70页 |
·ZnSnO_3 的气敏特性 | 第70-72页 |
·添加剂的作用机理 | 第72-73页 |
·小结 | 第73-75页 |
6 论文主要结论 | 第75-77页 |
·主要结论 | 第75-76页 |
·论文的创新之处 | 第76-77页 |
致谢 | 第77-79页 |
参考文献 | 第79-87页 |
附录 | 第87页 |
攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第87页 |