并三苯有机场效应晶体管的研制
摘要 | 第1-8页 |
Abstract | 第8-10页 |
目录 | 第10-13页 |
第一章 研究背景与研究进展 | 第13-43页 |
·引言 | 第13-14页 |
·有机电子学概况 | 第14-15页 |
·有机电子学定义 | 第14页 |
·有机电子学范畴 | 第14-15页 |
·有机电子器件研究进展与概况 | 第15-28页 |
·有机电子器件类型 | 第16-17页 |
·有机发光器件 | 第17-22页 |
·有机单分子电子器件 | 第22-25页 |
·有机传感器 | 第25-28页 |
·有机薄膜晶体管研究概况 | 第28-34页 |
·有机薄膜晶体管研究现状 | 第28-31页 |
·有机集成电路技术研究现状 | 第31-34页 |
·有机薄膜晶体管的应用 | 第34页 |
·目前OFET研究面临的问题和研究热点 | 第34-36页 |
·本文主要研究内容 | 第36-37页 |
参考文献 | 第37-43页 |
第二章 OFET器件结构与材料 | 第43-66页 |
·器件结构 | 第43-48页 |
·顶栅极结构 | 第43-44页 |
·底栅极结构 | 第44-45页 |
·顶接触结构 | 第45页 |
·底接触结构 | 第45-46页 |
·其它结构 | 第46-48页 |
·有机半导体材料 | 第48-53页 |
·有机小分子材料 | 第49-50页 |
·有机低聚合物材料 | 第50页 |
·有机高聚合物材料 | 第50-53页 |
·常用并苯类有机半导体 | 第53-58页 |
·并三苯 | 第54-55页 |
·并四苯 | 第55-56页 |
·并五苯 | 第56-58页 |
·电介质材料 | 第58-60页 |
·无机电介质材料 | 第58-59页 |
·有机电介质材料 | 第59-60页 |
·电极材料 | 第60-62页 |
·金属电极材料 | 第60-61页 |
·导电聚合物电极材料 | 第61-62页 |
·衬底材料 | 第62-63页 |
·小结 | 第63页 |
参考文献 | 第63-66页 |
第三章 有机场效应晶体管理论 | 第66-95页 |
·有机半导体载流子传输理论 | 第66-71页 |
·孤子和极化子 | 第66-69页 |
·跳跃传输理论 | 第69-70页 |
·多重俘获与释放传输理论 | 第70-71页 |
·有机半导体导电类型 | 第71-73页 |
·OFET载流子分布 | 第73-79页 |
·载流子分布 | 第73-77页 |
·偏压对载流子分布的影响 | 第77-79页 |
·OFET电流方程 | 第79-84页 |
·OFET电流方程建立 | 第79-82页 |
·饱和区Ⅰ-Ⅴ特性 | 第82-83页 |
·线性区的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第83-84页 |
·场效应迁移率 | 第84-87页 |
·场效应迁移率的意义 | 第84-86页 |
·场效应迁移率的估算方法 | 第86-87页 |
·OFET接触电阻效应 | 第87-92页 |
·线性电阻区的接触电阻 | 第88-89页 |
·饱和区的接触电阻 | 第89-91页 |
·接触电阻产生原因分析 | 第91-92页 |
·小结 | 第92-93页 |
参考文献 | 第93-95页 |
第四章 OFET制备方法与工艺 | 第95-112页 |
·传统硅工艺应用 | 第95-97页 |
·真空镀膜 | 第95-96页 |
·光刻工艺 | 第96-97页 |
·电子束刻蚀 | 第97页 |
·溶液工艺 | 第97-99页 |
·液体涂敷工艺 | 第98页 |
·溶液类型及制备 | 第98-99页 |
·LB膜工艺 | 第99-104页 |
·LB膜技术发展 | 第99-100页 |
·LB膜的制备方法 | 第100-101页 |
·LB膜技术应用 | 第101-104页 |
·自组装膜 | 第104-105页 |
·印刷工艺 | 第105-107页 |
·丝网印刷工艺 | 第105-107页 |
·印章印刷工艺 | 第107页 |
·喷墨打印工艺 | 第107页 |
·单晶工艺 | 第107-109页 |
·小结 | 第109-110页 |
参考文献 | 第110-112页 |
第五章 基于并三苯的OFET研究与制作 | 第112-136页 |
·器件制备材料 | 第112-117页 |
·有机半导体材料并三苯 | 第112-113页 |
·绝缘层材料 | 第113-116页 |
·电极材料 | 第116-117页 |
·器件结构 | 第117-118页 |
·器件制备工艺 | 第118-125页 |
·基片的处理和清洗 | 第118-119页 |
·绝缘层的旋涂与固化 | 第119-121页 |
·电极的沉积 | 第121-122页 |
·并三苯的沉积 | 第122-125页 |
·并三苯薄膜特性 | 第125-129页 |
·器件性能测试 | 第129-133页 |
·器件测试原理与测试电路 | 第129-130页 |
·器件性能参数的分析 | 第130-131页 |
·转移特性及输出特性曲线 | 第131-133页 |
·场效应迁移率估算 | 第133页 |
·小结 | 第133-134页 |
参考文献 | 第134-136页 |
第六章 结论与展望 | 第136-140页 |
·结论 | 第136-137页 |
·展望 | 第137-140页 |
附录 | 第140-141页 |
致谢 | 第141页 |