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用于MEMS器件精密测量的干涉相位解缠算法研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
1 绪论第7-12页
   ·国内外发展现状第7-8页
   ·课题的研究背景第8-10页
   ·课题来源和主要研究内容第10-12页
2 相位解缠原理及基本方法第12-23页
   ·引言第12-13页
   ·干涉相位解缠原理第13-18页
   ·相位解缠算法的基本方法第18-23页
3 基于最小二乘法的相位解缠方法第23-38页
   ·最小二乘法基本原理第23-26页
   ·离散余弦变换法求解泊松方程第26-29页
   ·多重网格法求解方程第29-35页
   ·未加权最小二乘算法第35-38页
4 加权最小二乘相位解缠算法第38-44页
   ·加权最小二乘法思想第38-41页
   ·加权多重网格V 循环算法的实现第41-42页
   ·加权完全多重网格算法的实现第42-44页
5 实验结果与分析第44-52页
   ·仿真数据及其分析第44-49页
   ·实测数据及其分析第49-52页
6 结论第52-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-58页

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