MOCVD温度控制方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·半导体材料发展历程与发展方向 | 第7-8页 |
| ·半导体材料的发展历程 | 第7页 |
| ·当前半导体材料的研究热点和趋势 | 第7-8页 |
| ·MOCVD概述 | 第8-9页 |
| ·MOCVD简介 | 第8页 |
| ·MOCVD的发展 | 第8-9页 |
| ·MOCVD技术的基本原理 | 第9-11页 |
| ·MOCVD控制系统设计要求 | 第11页 |
| ·压力、流量控制 | 第11页 |
| ·温度控制 | 第11页 |
| ·主要研究工作和论文内容安排 | 第11-13页 |
| ·MOCVD系统中的关键技术及本人的主要工作 | 第11-12页 |
| ·论文内容安排 | 第12-13页 |
| 第二章 MOCVD温度控制系统结构 | 第13-19页 |
| ·MOCVD温度控制系统的硬件组成 | 第13-16页 |
| ·温度控制系统的特点 | 第16-18页 |
| ·温度控制系统通用特点 | 第16页 |
| ·MOCVD温度控制系统特点 | 第16-18页 |
| ·本章小节 | 第18-19页 |
| 第三章 MOCVD温度控制模型辨识 | 第19-27页 |
| ·温度曲线的测定 | 第19-21页 |
| ·系统模型辨识 | 第21-26页 |
| ·系统辨识的定义及原理 | 第21-23页 |
| ·最小二乘理论 | 第23页 |
| ·基于最小二乘理论的经典辩识的新方法 | 第23-25页 |
| ·基于最小二乘法确定MOCVD温控对象的数学模型 | 第25-26页 |
| ·本章小节 | 第26-27页 |
| 第四章 MOCVD温度控制方法的研究 | 第27-49页 |
| ·温度控制模式 | 第27-29页 |
| ·手动控制模式 | 第27页 |
| ·自动控制模式 | 第27-28页 |
| ·手动控制、自动控制的切换 | 第28-29页 |
| ·MOCVD温度的自动控制 | 第29-35页 |
| ·PID控制 | 第29页 |
| ·PID控制原理 | 第29-30页 |
| ·MOCVD温度自动控制程序设计 | 第30-33页 |
| ·系统仿真及结果分析 | 第33-35页 |
| ·温度控制算法研究 | 第35页 |
| ·常用的温度控制算法及其仿真 | 第35-47页 |
| ·Smith预估控制 | 第36-40页 |
| ·模糊控制 | 第40-45页 |
| ·模糊Smith预估+PID控制 | 第45-46页 |
| ·神经网络控制 | 第46-47页 |
| ·本章小节 | 第47-49页 |
| 第五章 MOCVD温度智能控制方法的研究 | 第49-59页 |
| ·智能控制系统概述 | 第49-50页 |
| ·智能控制的定义 | 第49页 |
| ·智能控制系统的特点 | 第49页 |
| ·智能控制研究对象 | 第49-50页 |
| ·智能控制系统国内外进展概况 | 第50页 |
| ·神经元自适应PID的MOCVD温度控制方法研究 | 第50-54页 |
| ·基于神经元自适应的PID智能控制 | 第51-52页 |
| ·算法改进 | 第52-53页 |
| ·仿真研究 | 第53-54页 |
| ·模糊免疫控制在MOCVD温度控制系统中的应用 | 第54-58页 |
| ·免疫反馈模型描述 | 第54-55页 |
| ·模糊免疫PID控制器 | 第55-57页 |
| ·仿真研究 | 第57-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 在读期间研究成果 | 第65-66页 |
