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GaN基半导体异质结构中的应力相关效应

摘要第1-6页
Abstract第6-16页
第一章 序论第16-20页
   ·GaN 基半导体研究的根本性问题第16-17页
   ·研究手段发展的基础性问题第17-18页
   ·论文构架第18-20页
第二章 晶体生长方法和表征第20-38页
   ·III 族氮化物生长方法第20-28页
     ·金属有机物汽相外延(MOVPE)第20-22页
     ·侧向外延GaN 的制备第22-28页
     ·AlGaN/GaN 异质结构的制备第28页
   ·表征方法第28-38页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第29-30页
     ·透射电子显微镜(TEM)第30-32页
     ·俄歇电子能谱(AES)第32-34页
     ·X 射线衍射(XRD)第34-35页
     ·拉曼散射谱(Raman)第35-36页
     ·阴极荧光谱(CL)第36-38页
第三章 计算模拟方法第38-60页
   ·密度泛函理论的电子结构计算第38-49页
     ·密度泛函理论第38-42页
     ·混合基赝势计算方法第42-47页
     ·力与结构优化第47-49页
   ·计算模拟的应力模型第49-53页
     ·体材料模型和表面材料模型第49-52页
     ·异质结构模型第52-53页
     ·应力场的构建第53页
   ·GaN 和AlN 材料基本性质的计算第53-60页
     ·GaN 和AlN 体材料的基本性质第54-56页
     ·GaN 和AlN 表面系统的基本性质第56-60页
第四章 俄歇谱广义位移概念及其微纳区测量技术的建立第60-83页
   ·引言第60-61页
   ·俄歇电子理论第61-68页
     ·俄歇电子跃迁过程和表述第61-62页
     ·俄歇电子能量的表达第62-63页
     ·价电子态对俄歇电子能量的影响第63-64页
     ·价电子能带俄歇谱的理论表述及其简化第64-66页
     ·价电子能带俄歇谱中的电子信息第66-68页
   ·俄歇谱广义位移概念及其微观物理意义第68-73页
     ·广义位移概念及其意义第68-69页
     ·俄歇峰位对应微观变化实例第69-71页
     ·俄歇峰形对应微观变化实例第71-73页
   ·纳米区域应力测量技术的建立第73-77页
     ·应力测量技术的发展第73-74页
     ·俄歇谱位移与微观应力的对应关系第74-75页
     ·俄歇谱位移量的测量第75-76页
     ·样品和测试环境第76-77页
   ·远场非接触性纳米区域电学测量技术的建立第77-81页
     ·电学测量技术的发展第77-79页
     ·局域电荷及电场的俄歇谱信息第79-80页
     ·局域电荷浓度及电场的测量第80页
     ·样品和测试环境第80-81页
   ·结论第81-83页
第五章 GaN 中的应力场转变及带边发光增强效应第83-104页
   ·引言第83-84页
   ·侧向外延GaN 中应力场的释放机制第84-89页
     ·表面形貌和应力分布第84-86页
     ·剖面应力演化分布的精确测量第86-88页
     ·应力场释放机制第88-89页
   ·位错集体有序行为及纵向应力场转变第89-94页
     ·侧向外延区位错的有序拐弯第89-91页
     ·位错半环集体攀移及纵向应力场第91-93页
     ·纵向应力场与光谱蓝移第93-94页
   ·带边发光增强效应第94-101页
     ·侧向区的高亮紫外发光第94-96页
     ·纵向应力场的带边发光增强效应第96-99页
     ·横向位错阵列的极化场碎断效应第99-101页
   ·结论第101-104页
第六章 GaN/AlGaN/GaN 异质界面的压电极化效应第104-122页
   ·引言第104-105页
   ·III 族氮化物异质结构的压电极化效应第105-110页
     ·III 族氮化物的压电极化第105-107页
     ·AlGaN/GaN 异质结的压电极化第107-109页
     ·压电极化的光学和电学效应第109-110页
   ·GaN/AlGaN/GaN 异质界面极化场的表征第110-116页
     ·界面层的组分扩散深度第110-112页
     ·界面的极化电荷薄层第112-114页
     ·极化电场分布第114-115页
     ·缓变界面的能带弯曲第115-116页
   ·GaN/AlGaN 的能带结构计算第116-119页
     ·GaN/AlGaN/GaN 异质结层晶的能带弯曲第117-118页
     ·AlGaN/GaN/AlGaN 量子阱的能带弯曲第118-119页
   ·结论第119-122页
第七章 应力控制下 AlGaN 体系异质界面的结构相变第122-138页
   ·引言第122-123页
   ·AlGaN/GaN 应变异质界面的结构相变第123-132页
     ·异质界面模型与结构转变能第123-124页
     ·AlGaN 薄膜相变的临界厚度第124-127页
     ·次近邻键相互作用和Al-N 键共价化效应第127-128页
     ·相变势垒第128-129页
     ·相变对AlGaN/GaN 压电极化场的影响第129-130页
     ·AlGaN/GaN 样品异质界面相变的观测第130-132页
   ·AlGaN/AlN 应变异质界面的结构相变第132-135页
     ·AlGaN 异质界面层的结构转变第133-134页
     ·相变结构稳定的应力范围第134-135页
   ·结论第135-138页
第八章 总结与展望第138-142页
参考文献第142-167页
 第一章第142-143页
 第二章第143-148页
 第三章第148-152页
 第四章第152-156页
 第五章第156-159页
 第六章第159-163页
 第七章第163-167页
附录 博士期间发表的论文及成果第167-169页
致谢第169页

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