声表面波传感器及其接口设计的研究
| 第一章 绪论 | 第1-9页 |
| 1-1 研究背景 | 第7页 |
| 1-2 研究目的 | 第7-8页 |
| 1-3 论文框架 | 第8-9页 |
| 第二章 声表面波传感器的原理 | 第9-21页 |
| 2-1 声波与声表面波 | 第9-11页 |
| 2-2 传播声表面波的材料 | 第11-16页 |
| 2-2-1 压电效应 | 第11页 |
| 2-2-2 声表面波器件压电材料 | 第11-14页 |
| 2-2-3 叉指换能器 | 第14-16页 |
| 2-3 声表面波传感器的原理和优点 | 第16-17页 |
| 2-4 声表面波传感器研究的现状和发展 | 第17-21页 |
| 第三章 声表面波传感器的加工工艺 | 第21-31页 |
| 3-1 真空镀膜技术 | 第21-25页 |
| 3-1-1 真空蒸发镀膜法 | 第21-23页 |
| 3-1-2 溅射镀膜法 | 第23-24页 |
| 3-1-3 在声表面波器件方面的应用 | 第24-25页 |
| 3-2 光刻技术 | 第25页 |
| 3-3 蚀刻工艺 | 第25-28页 |
| 3-3-1 湿法蚀刻 | 第26-27页 |
| 3-3-2 干法蚀刻 | 第27-28页 |
| 3-3-3 电子束直写技术 | 第28页 |
| 3-4 其它工艺 | 第28-31页 |
| 第四章 声表面波传感器的模型 | 第31-42页 |
| 4-1 叉指换能器模型 | 第31-40页 |
| 4-1-1 δ函数模型 | 第31-35页 |
| 4-1-2 等效电路模型 | 第35-39页 |
| 4-1-3 p矩阵 | 第39页 |
| 4-1-4 耦合模模型 | 第39-40页 |
| 4-2 其它仿真方法 | 第40-42页 |
| 第五章 声表面波传感器的界面扰动效应 | 第42-54页 |
| 5-1 声波传播中的扰动 | 第42-44页 |
| 5-2 质量负载效应 | 第44页 |
| 5-3 声电效应 | 第44-46页 |
| 5-4 声表面波器件上的弹性膜和粘弹膜 | 第46-51页 |
| 5-4-1 声学薄膜的SAW响应 | 第49-50页 |
| 5-4-2 声学厚膜的SAW响应 | 第50-51页 |
| 5-5 讨论 | 第51-54页 |
| 第六章 传感器检测及接口电路的设计 | 第54-65页 |
| 6-1 传感器接口的检测方式 | 第54-59页 |
| 6-1-1 振荡法测量 | 第54-57页 |
| 6-1-2 相位/幅度法测量 | 第57页 |
| 6-1-3 两种测量方法的比较 | 第57-58页 |
| 6-1-4 矢量电压计和网络分析仪简介 | 第58-59页 |
| 6-2 传感器接口电路设计 | 第59-65页 |
| 6-2-1 振荡电路设计 | 第60-62页 |
| 6-2-2 混频电路 | 第62页 |
| 6-2-3 滤波、整形、放大电路 | 第62-65页 |
| 第七章 仿真分析及讨论 | 第65-71页 |
| 7-1 叉指换能器的仿真 | 第65-66页 |
| 7-2 设计参数的讨论 | 第66-69页 |
| 7-3 与实际频响曲线的比较 | 第69页 |
| 7-4 各种模型之间的比较 | 第69-71页 |
| 第八章 课题总结及展望 | 第71-73页 |
| 8-1 课题总结 | 第71页 |
| 8-2 展望 | 第71-73页 |
| 作者在攻读硕士期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 独创性声明 | 第75页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第75页 |
