| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-34页 |
| ·MEMS基本设计理论与仿真方法 | 第13-16页 |
| ·MEMS CAD研究现状 | 第16-19页 |
| ·MEMS系统级仿真方法及宏模型研究现状 | 第19-32页 |
| ·解析宏模型 | 第20-22页 |
| ·数值宏模型 | 第22-32页 |
| ·其他宏建模方法及特征参数提取 | 第32页 |
| ·本文研究内容 | 第32-34页 |
| 2 基于MAST硬件语言的解析宏模型及其应用 | 第34-53页 |
| ·CoventorWare软件ARCHITECT模块及MAST硬件语言 | 第34-36页 |
| ·非线性梁单元宏模型 | 第36-41页 |
| ·V形梁电热驱动器宏模型 | 第41-44页 |
| ·其他基本单元宏模型 | 第44-45页 |
| ·MAST宏模型在CoventorWare软件中的应用 | 第45-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 3 基于精化Arnoldi算法的Krylov子空间降阶宏模型 | 第53-68页 |
| ·Krylvo子空间降阶模型研究 | 第55-58页 |
| ·精化Arnoldi算法的Krylov子空间降阶宏模型 | 第58-63页 |
| ·精化投影方法 | 第58-59页 |
| ·基于精化Arnoldi算法的Krylov子空间降阶宏模型生成 | 第59-63页 |
| ·V形电热驱动微夹钳的数值宏模型生成 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 4 基于精细积分的MEMS系统级仿真MOR-PIM法 | 第68-80页 |
| ·精细积分法 | 第69-72页 |
| ·动力方程的精细积分法 | 第69-71页 |
| ·基于Krylov子空间降阶的精细积分法 | 第71-72页 |
| ·模型降阶与精细积分结合的MOR-PIM法 | 第72-74页 |
| ·MOR-PIM算法精度分析 | 第74-76页 |
| ·MOR-PIM方法应用 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 5 系统级仿真平台MEMS_DUT及应用 | 第80-94页 |
| ·系统级仿真平台MEMS_DUT的实现 | 第80-86页 |
| ·系统软件平台框架与开发流程 | 第80-82页 |
| ·软件平台的程序实现 | 第82-86页 |
| ·MEMS系统级仿真平台MEMS_DUT的应用 | 第86-92页 |
| ·片内集成测试结构的设计 | 第86-90页 |
| ·片内集成测试结构的制作 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 结论 | 第94-96页 |
| 创新点摘要 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-105页 |
| 附录A 非线性梁MAST硬件语言程序(部分) | 第105-111页 |
| 附录B 阶Krylov子空间降阶算法MATLAB程序 | 第111-113页 |
| 附录C PIM算法MATLAB程序 | 第113-114页 |
| 附录D 北京大学双层表面牺牲层工艺疲劳测试结构单元版图 | 第114-119页 |
| 附录E 北京大学双层表面牺牲层工艺流程 | 第119-122页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 作者简介 | 第125-126页 |
