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复铁电性磁电子材料LCMTO的制备与性能研究

目录第1-10页
前言第10-12页
第一章 文献综述第12-30页
   ·铁电-铁磁材料概述第12-13页
   ·铁磁材料及其本质第13-19页
     ·铁磁材料的本质第15-16页
     ·钙钛矿结构的铁磁材料第16-19页
   ·铁电材料及其本质第19-23页
     ·铁电材料的本质第20-21页
     ·钙钛矿结构的铁电材料第21-23页
   ·钙钛矿结构的复铁电性磁电子材料第23-28页
     ·晶体结构第24-26页
     ·电子结构第26页
     ·电子结构与晶体结构的耦合第26-27页
     ·化学“d~0-ness”第27页
     ·相变第27-28页
   ·射频磁控溅射法制备复铁电性的磁电子薄膜第28-29页
   ·本论文的研究目的与意义第29-30页
第二章 实验过程第30-40页
   ·实验仪器第30-32页
     ·射频磁控溅射仪及工艺介绍第30-31页
     ·真空热蒸发试验设备第31-32页
     ·高温炉第32页
     ·高能球磨机第32页
   ·实验材料第32-33页
     ·块材和薄膜制备用原材料第32-33页
     ·基板材料第33页
   ·测试方法第33-36页
     ·X射线衍射第33-34页
     ·扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)第34页
     ·原子力显微镜(AFM)第34-35页
     ·差热分析第35页
     ·电阻率测试第35页
     ·介电性能测试第35-36页
   ·块材样品的制备与测试第36页
   ·薄膜的制备第36-40页
     ·靶材的制备第36-37页
     ·基板的清洗第37页
     ·基板底电极的制备第37页
     ·薄膜的制备与测试第37-39页
     ·顶电极的制备第39-40页
第三章 La_(0.5)Ca_(0.5)Mn_xTi_(1-x)O_3块材样品的结构性能与电性能研究第40-56页
   ·La_(0.5)Ca_(0.5)Mn_xTi_(1-x)O_3样品的结构性能研究第40-44页
   ·La_(0.5)Ca_(0.5)Mn_xTi_(1-x)O_3样品的介电性能研究第44-54页
   ·La_(0.5)Ca_(0.5)Mn_xTi_(1-x)O_3样品的电阻特性研究第54-55页
   ·本章小结第55-56页
第四章 射频磁控溅射LCMTO/Si(100)薄膜的结构性能研究第56-66页
   ·Si(100)基板上LCMTO薄膜的晶相形成第56-60页
   ·Si(100)基板上LCMTO薄膜晶格结构与热处理温度之间的关系第60-61页
   ·Si(100)基板上LCMTO薄膜的厚度对其结构性能的影响第61-63页
   ·Si(100)基板上LCMTO薄膜结构性能受氧分压的影响第63-64页
   ·本章小结第64-66页
第五章 LCMTO/Ag/Si(100)薄膜的结构性能与介电性能研究第66-75页
   ·Ag/Si(100)基板上薄膜结构性能研究第66-70页
   ·Ag/Si(100)基板上LCMTO薄膜介电性能研究第70-74页
   ·本章小结第74-75页
第六章 结论第75-77页
参考文献第77-83页
硕士阶段已录用及已投稿论文第83-84页

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