| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·微位移机电系统研究现状 | 第13-15页 |
| ·微位移机电系统简介 | 第13-14页 |
| ·微位移机电系统的研究现状 | 第14-15页 |
| ·本课题研究的来源、意义和目的 | 第15页 |
| ·本课题主要研究内容和本文内容安排 | 第15-18页 |
| 第二章 微位移机电系统设计方案 | 第18-32页 |
| ·微位移机电系统的基本介绍 | 第18-23页 |
| ·微位移传动机构 | 第18-20页 |
| ·柔性铰链 | 第20-21页 |
| ·驱动器 | 第21-23页 |
| ·三自由度(X-Y-θ)微位移工作台设计方案 | 第23-26页 |
| ·设计中的需要考虑的几个问题 | 第23页 |
| ·微位移技术的评价参数 | 第23-24页 |
| ·设计方案的确定 | 第24-25页 |
| ·微位移总体机构的初步设计 | 第25-26页 |
| ·微位移机构设计中的现代设计方法 | 第26-32页 |
| ·现代设计(Modern Design) | 第26-27页 |
| ·计算机辅助工程(Computer Aided Engineering:CAE) | 第27页 |
| ·有限元法(Finite Element Method) | 第27-30页 |
| ·最优化设计(Optimization Design) | 第30-32页 |
| 第三章 工作台结构尺寸设计和分析 | 第32-61页 |
| ·柔性铰链的受力变形分析 | 第32-35页 |
| ·转动工作台的设计和分析 | 第35-42页 |
| ·转动工作台的初步设计及其性能分析 | 第37-40页 |
| ·转动工作台的优化设计 | 第40-41页 |
| ·优化前后的主要性能比较 | 第41-42页 |
| ·平动工作台的设计 | 第42-48页 |
| ·柔性铰链型双平行四杆平动机构的力学性能分析 | 第42-44页 |
| ·平动微位移工作台的分析 | 第44-46页 |
| ·平动工作台的性能 | 第46-48页 |
| ·微位移工作台的数学建模 | 第48-60页 |
| ·平动工作台的数学建模 | 第48-54页 |
| ·转动工作台机构的回归建摸研究 | 第54-60页 |
| ·本章内容小结 | 第60-61页 |
| 第四章 微位移机构的制造和系统的搭建 | 第61-65页 |
| ·微位移机构的制造 | 第61-64页 |
| ·制造过程 | 第61-62页 |
| ·制造误差分析 | 第62-64页 |
| ·微位移机电系统的构建 | 第64-65页 |
| 第五章 微位移工作台的性能分析和测试 | 第65-72页 |
| ·微位移机构的测试 | 第65-68页 |
| ·WTDS驱动器的性能测试 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结束语 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76-81页 |
| ANSYS PROGRAM | 第76-78页 |
| MATLAB PROGRAM | 第78-81页 |
