| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| 第一节 氧化锌薄膜的基本性质及应用 | 第6-9页 |
| 第二节 氧化锌薄膜生长技术的最新研究进展 | 第9-14页 |
| 第二章 溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜的工艺及机理 | 第14-26页 |
| 第一节 氧化锌薄膜的制备工艺过程 | 第14-18页 |
| 第二节 正交实验优化制备工艺参数 | 第18-21页 |
| 第三节 溶胶凝胶法制备氧化锌薄膜的机理 | 第21-26页 |
| 第三章 薄膜的结构分析、形貌观察及厚度表征 | 第26-36页 |
| 第一节 X射线衍射结构分析 | 第26-29页 |
| 第二节 扫描电镜形貌观察 | 第29-30页 |
| 第三节 薄膜厚度的测量及影响因素 | 第30-36页 |
| 第四章 氧化锌薄膜的性能研究 | 第36-48页 |
| 第一节 半导体能带理论 | 第36-42页 |
| 第二节 薄膜的导电性及其影响因素 | 第42-46页 |
| 第三节 氧化锌薄膜的透射光谱 | 第46-48页 |
| 第五章 结论与展望 | 第48-55页 |
| 第一节 结论 | 第48页 |
| 第二节 展望 | 第48-55页 |
| 参考文献 | 第55-54页 |
| 发表论文 | 第54-50页 |
| 致谢 | 第50-55页 |