| 第1章 绪论 | 第1-17页 |
| ·意义 | 第10页 |
| ·我国大气压力测量的发展现状 | 第10-11页 |
| ·压力传感器的种类及国外发展现状 | 第11-12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| ·结构设计 | 第12-13页 |
| ·工艺 | 第13-14页 |
| ·相关的主要研究方法 | 第14-16页 |
| ·优化方法 | 第14-15页 |
| ·有限元方法 | 第15-16页 |
| ·石英压力传感器的主要技术指标 | 第16-17页 |
| 第2章 石英压力传感器的建模与力学分析 | 第17-21页 |
| ·石英压力传感器的工作原理 | 第17-19页 |
| ·力学模型与分析 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 石英压力传感器的结构方案与尺寸参数的求解 | 第21-37页 |
| ·结构方案 | 第21页 |
| ·解析法求解 | 第21-25页 |
| ·压力传感器的工作范围 | 第22-24页 |
| ·求解形状尺寸 | 第24-25页 |
| ·有限元方法的计算 | 第25-36页 |
| ·软件VIZICZD | 第26页 |
| ·有限元离散 | 第26页 |
| ·有限元离散 | 第26-27页 |
| ·边界条件 | 第27页 |
| ·计算结果的处理 | 第27页 |
| ·有限元的计算结果 | 第27-36页 |
| ·本章小节 | 第36-37页 |
| 第4章 工艺的研究 | 第37-50页 |
| ·材料 | 第37页 |
| ·加工工艺 | 第37-40页 |
| ·化学腐蚀工艺及腐蚀裕量的计算 | 第40-46页 |
| ·膜片金属化工艺 | 第46页 |
| ·周边封接工艺 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 化学加工理论及(NH_4HF_2)腐蚀液性能参数测定 | 第50-62页 |
| ·SiC_2腐蚀液选择及腐蚀加工原理 | 第50-51页 |
| ·化学加工的特点 | 第51-53页 |
| ·腐蚀速度V--温度t曲线测定 | 第53-56页 |
| ·腐蚀液的结晶温度测试 | 第56-57页 |
| ·腐蚀速度V--时间t曲线的测定及钻蚀分析 | 第57-59页 |
| ·退火对腐蚀速度的影响 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第62-64页 |
| ·实验结果 | 第62-63页 |
| ·结果分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 个人简历 | 第72页 |