| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·电介质及介电材料 | 第11-12页 |
| ·高介电栅极材料的研究背景及现状 | 第12-23页 |
| ·本文的意义，目标及内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-27页 |
| 第二章 薄膜制备及微结构、电学性质表征原理与方法 | 第27-49页 |
| ·薄膜制备 | 第27-31页 |
| ·薄膜的微结构表征 | 第31-33页 |
| ·电学性质测试 | 第33-46页 |
| ·其他表征方法 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |
| 第三章 LaAlO_3及LaAlO_xN_y的结构及热稳定性 | 第49-68页 |
| ·LAO 及 LAON 的薄膜形态及热稳定性 | 第49-54页 |
| ·LAO 及 LAON 的组分分析 | 第54页 |
| ·LAO 及 LAON 的 AFM 表面形貌分析 | 第54-56页 |
| ·薄膜与衬底的界面结构研究 | 第56-64页 |
| ·LAO 及 LAON 的傅立叶红外光谱 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第四章 LaAlO_3及LaAlO_xN_y的电学性质 | 第68-84页 |
| ·LaAlO_3的基本电学性质 | 第68-70页 |
| ·制备参数对LaAlO_3电学性能的影响 | 第70-77页 |
| ·掺氮对LaAlO_3电学性能的影响 | 第77-80页 |
| ·样品电学性能的可重复性研究 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-84页 |
| 第五章 Zr_(0.26)Sn_(0.23)Ti_(0.51)O_(2)-δ及Zr_(0.26)Sn_(0.23)Ti_(0.51)O_xN_y薄膜的结构及介电性 | 第84-96页 |
| ·Zr_(0.26)Sn_(0.23)Ti_(0.51)O_(2)-δ薄膜的研究背景 | 第84-85页 |
| ·实验介绍 | 第85-86页 |
| ·实验结果及讨论 | 第86-93页 |
| ·本章小结 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-96页 |
| 第六章 结论及研究展望 | 第96-99页 |
| ·结论 | 第96-98页 |
| ·研究展望 | 第98-99页 |
| 攻读博士学位期间发表或待发表的论文 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100页 |
