纳米尺度金属薄膜氧化传质规律及其机理研究
| 目录 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 前言 | 第9-12页 |
| 第一章 研究背景与文献综述 | 第12-25页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·扩散基本理论 | 第13-20页 |
| ·扩散的宏观规律 | 第13-15页 |
| ·扩散的热力学分析 | 第15-16页 |
| ·反应扩散 | 第16-17页 |
| ·扩散的微观机制 | 第17-19页 |
| ·Arrhenius定律与扩散系数的影响因素 | 第19-20页 |
| ·金属薄膜氧化中的科学问题 | 第20-23页 |
| ·金属氧化过程的一般描述 | 第20-23页 |
| ·金属薄膜氧化中的主要科学问题 | 第23页 |
| ·相关研究现状 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 CU薄膜制备与结构性能表征 | 第25-35页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·金属薄膜的制备方法——真空蒸发法 | 第25-27页 |
| ·真空蒸发设备 | 第25-27页 |
| ·薄膜厚度控制 | 第27页 |
| ·薄膜表面形貌表征方法——AFM | 第27-29页 |
| ·薄膜表面结构和成分表征方法——XRD | 第29-30页 |
| ·薄膜氧化传质过程表征方法 | 第30-34页 |
| ·方块电阻法 | 第31-33页 |
| ·透射光谱法 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 金属薄膜氧化传质规律研究 | 第35-41页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·氧化实验和动力学表征 | 第35-38页 |
| ·扩散激活能和微观扩散机制 | 第38-39页 |
| ·扩散激活能 | 第38-39页 |
| ·微观扩散机制 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 超薄金属薄膜特殊氧化规律研究和理论探索 | 第41-50页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·氧化实验和动力学表征 | 第42-44页 |
| ·模型建立和理论分析 | 第44-48页 |
| ·模型建立 | 第44-46页 |
| ·理论分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-53页 |
| ·总结 | 第50-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录 | 第57-59页 |
| 硕士期间发表论文清单 | 第57页 |
| 硕士期间申请专利清单 | 第57-58页 |
| 硕士期间获奖学金 | 第58-59页 |
| 后记 | 第59-60页 |
