数字式加速度传感器的厚膜混合集成技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·传感器技术简介 | 第9-10页 |
| ·数字传感器 | 第10-12页 |
| ·数字传感器简介 | 第10-11页 |
| ·数字传感器的发展现状 | 第11-12页 |
| ·传感器的集成技术 | 第12-16页 |
| ·传感器的集成方法 | 第12-14页 |
| ·传感器的集成工艺 | 第14-16页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第16-17页 |
| ·论文的主要研究工作 | 第17-19页 |
| 2 数字式三轴加速度传感器的设计 | 第19-39页 |
| ·数字传感器的总体设计 | 第19-21页 |
| ·设计依据 | 第19页 |
| ·总体设计方案 | 第19-21页 |
| ·三轴硅微加速度计简介 | 第21-24页 |
| ·硅微加速度计的特点 | 第21-22页 |
| ·三轴硅微加速度计的工作原理 | 第22-24页 |
| ·加速度计电源电路设计 | 第24-26页 |
| ·加速度计的信号调理电路 | 第26-31页 |
| ·电桥平衡失调和零位温漂补偿 | 第26-27页 |
| ·灵敏度温度系数补偿 | 第27-29页 |
| ·信号放大电路设计 | 第29-31页 |
| ·加速度传感器数字化电路设计 | 第31-35页 |
| ·C8051F 单片机的特点 | 第31-32页 |
| ·单片机硬件电路设计 | 第32-34页 |
| ·RS-422 接口电路设计 | 第34-35页 |
| ·传感器数字电路软件程序设计 | 第35-39页 |
| ·系统初始化程序 | 第36-37页 |
| ·数据采集和A/D 转换程序 | 第37-39页 |
| 3 数字传感器的厚膜混合集成 | 第39-60页 |
| ·数字传感器的厚膜混合集成电路设计 | 第39-51页 |
| ·混合微电路的布图规则 | 第41-44页 |
| ·传感器的厚膜版图设计 | 第44-48页 |
| ·厚膜电路的热设计 | 第48-51页 |
| ·数字传感器的混合集成 | 第51-60页 |
| ·厚膜材料选择 | 第51-52页 |
| ·混合集成工艺 | 第52-60页 |
| 4 数字传感器的测试分析 | 第60-68页 |
| ·目检 | 第60-61页 |
| ·电性能测试 | 第61-68页 |
| ·电路互连测试 | 第61页 |
| ·电路功能测试 | 第61-68页 |
| 5 总结 | 第68-70页 |
| 附录 | 第70-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
