RF CMOS工艺中可变电容的特性研究及建模

摘要	第1-4页
Abstract	第4-5页
第一章 绪论	第5-8页
·CMOS射频集成电路的出现与发展	第5-7页
·可变电容在射频集成电路中的地位	第7页
·所选课题的目的和意义	第7页
·本文的主要内容	第7-8页
第二章 可变电容的制造工艺及其应用	第8-14页
·集成电路的制造工艺	第8-10页
·新型工艺制造的可变电容应用	第10-12页
·亚微米CMOS混合信号工艺简介	第12-14页
第三章 CMOS工艺中可变电容的工作原理	第14-22页
·二极管可变电容	第14-15页
·二端口MOS可变电容	第15-19页
·标准MOS可变电容	第15-17页
·反型型可变电容	第17-18页
·积累型可变电容	第18-19页
·三端口MOS可变电容—栅漏极控制可变电容	第19-22页
第四章 可变电容的设计考虑与测试结果分析	第22-45页
·可变电容的设计考虑	第22-25页
·结构设计考虑	第22-23页
·测试考虑	第23-25页
·测试设备与方法	第25-30页
·可变电容的测试结果分析	第30-42页
·标准NMOS的AC特性测试与结果分析	第31-33页
·二极管可变电容的RF测试结果分析	第33-35页
·二端口MOS可变电容测试结果分析	第35-42页
·三端口MOS可变电容特性测试分析	第42-45页
第五章 可变电容的建模	第45-55页
·半导体器件模型化的重要性及流程	第45-47页
·可变电容的低频CV特性建模	第47-50页
·可变电容的RF特性建模	第50-55页
结束语	第55-56页
参考文献	第56-57页
致谢	第57-58页