光谱共焦厚度检测系统研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 透明材质厚度检测的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-17页 |
| 2 光谱共焦厚度检测原理及实施方案 | 第17-33页 |
| 2.1 光谱共焦原理 | 第17-20页 |
| 2.2 光谱共焦系统性能分析 | 第20-22页 |
| 2.2.1 测量范围 | 第20-21页 |
| 2.2.2 灵敏度 | 第21-22页 |
| 2.3 光谱共焦系统器件选择 | 第22-32页 |
| 2.3.1 宽光谱光源系统选择 | 第22-26页 |
| 2.3.2 光纤耦合器选择 | 第26-30页 |
| 2.3.3 光谱分析器件 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 色散选频光学系统设计 | 第33-50页 |
| 3.1 光学系统设计要求 | 第33-39页 |
| 3.1.1 拉贝不变量 | 第33-34页 |
| 3.1.2 轴向色差 | 第34-37页 |
| 3.1.3 球差 | 第37-39页 |
| 3.1.4 数值孔径 | 第39页 |
| 3.2 色散选频光学系统的设计和优化 | 第39-45页 |
| 3.2.1 光学结构的确定 | 第39-40页 |
| 3.2.2 成像分析 | 第40-45页 |
| 3.3 容差分析 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 4 光谱信号处理及解码 | 第50-58页 |
| 4.1 光谱信号预处理 | 第50-51页 |
| 4.2 滤波去噪 | 第51-52页 |
| 4.3 波峰定位提取 | 第52-53页 |
| 4.4 波长与聚焦点距离曲线拟合 | 第53-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 系统实验验证及结果分析 | 第58-67页 |
| 5.1 实验系统标定 | 第58-60页 |
| 5.2 厚度补偿模型 | 第60-62页 |
| 5.3 厚度检测实验 | 第62-63页 |
| 5.4 误差分析 | 第63-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 本文的工作总结 | 第67-68页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简历及攻读硕士期间主要研究成果 | 第73页 |
