串并联混合五自由度真空加工平台的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 串联机构与并联机构研究背景 | 第13-19页 |
| 1.2 串并联机构研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.3.1 课题来源与研究目的 | 第20页 |
| 1.3.2 论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 平台方案设计 | 第22-32页 |
| 2.1 平台主要性能参数 | 第22页 |
| 2.2 平台总体方案 | 第22-25页 |
| 2.2.1 机械设计方案 | 第22-24页 |
| 2.2.2 控制系统方案 | 第24-25页 |
| 2.3 机械结构设计 | 第25-30页 |
| 2.3.1 X、Y滑台设计 | 第25-26页 |
| 2.3.2 并联机构设计 | 第26-27页 |
| 2.3.3 零部件选型 | 第27-30页 |
| 2.4 硬件电路设计 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 平台运动学分析 | 第32-48页 |
| 3.1 平台模型建立 | 第32-34页 |
| 3.1.1 空间坐标系建立 | 第32-33页 |
| 3.1.2 平台自由度 | 第33-34页 |
| 3.1.3 坐标系变换 | 第34页 |
| 3.2 三自由度并联机构运动学反解 | 第34-37页 |
| 3.3 三自由度并联机构运动学正解 | 第37-42页 |
| 3.3.1 正解算法概述 | 第37-38页 |
| 3.3.2 正解算法主要步骤 | 第38-41页 |
| 3.3.3 正解算法验证 | 第41-42页 |
| 3.4 三自由度并联机构速度与加速度分析 | 第42-45页 |
| 3.5 极限位姿的奇异性验证 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 控制系统软件设计 | 第48-62页 |
| 4.1 控制系统概述 | 第48-50页 |
| 4.1.1 控制系统软件要求 | 第48页 |
| 4.1.2 开发环境概述 | 第48-50页 |
| 4.2 软件总体框架 | 第50-52页 |
| 4.3 运动控制功能 | 第52-57页 |
| 4.3.1 多轴同步控制策略 | 第52-55页 |
| 4.3.2 运动控制模块 | 第55-57页 |
| 4.4 程序其他功能模块 | 第57-61页 |
| 4.4.1 人机交互模块 | 第57-59页 |
| 4.4.2 数据处理模块 | 第59-61页 |
| 4.4.3 安全保护模块 | 第61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 系统测试与分析 | 第62-70页 |
| 5.1 实验概况 | 第62-63页 |
| 5.2 实验结果与分析 | 第63-69页 |
| 5.2.1 平台定位与重复定位精度测试 | 第63-67页 |
| 5.2.2 散热性能测试 | 第67-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 6 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 课题研究总结 | 第70页 |
| 6.2 论文创新点 | 第70-71页 |
| 6.3 不足与展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 作者简历 | 第75页 |
