应用于液压泵的MEMS复合传感器的建模研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第11页 |
| 1.3 研究现状 | 第11-18页 |
| 1.3.1 传感器常用的建模方法 | 第11-15页 |
| 1.3.2 MEMS系统的宏建模方法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 MEMS复合传感器的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 研究内容 | 第18页 |
| 1.5 论文结构 | 第18-20页 |
| 第2章 复合传感器的机理建模 | 第20-30页 |
| 2.1 压力传感器 | 第20-23页 |
| 2.1.1 压阻效应 | 第20-21页 |
| 2.1.2 弹性膜片的数学建模 | 第21-22页 |
| 2.1.3 测量电路 | 第22-23页 |
| 2.2 流量传感器 | 第23-26页 |
| 2.2.1 流量传感器测量原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 科氏管的数学建模分析 | 第24-25页 |
| 2.2.3 测量电路 | 第25-26页 |
| 2.3 粘度传感器 | 第26-27页 |
| 2.3.1 石英晶体的频移 | 第26-27页 |
| 2.3.2 测量电路 | 第27页 |
| 2.4 温度传感器 | 第27-29页 |
| 2.4.1 温度传感器测量原理 | 第27页 |
| 2.4.2 温度传感器数学建模 | 第27-28页 |
| 2.4.3 测量电路 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 复合传感器的系统建模与仿真 | 第30-35页 |
| 3.1 VHDL-AMS建模语言 | 第30-31页 |
| 3.2 基于VHDL-AMS的复合传感器系统建模 | 第31-34页 |
| 3.2.1 自定义模型库 | 第32-33页 |
| 3.2.2 系统建模与仿真分析 | 第33-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 复合传感器的温度补偿 | 第35-42页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 SVM原理 | 第35-37页 |
| 4.2.1 分类问题和分类学习机 | 第35-37页 |
| 4.2.2 回归问题和回归学习机 | 第37页 |
| 4.3 LS-SVM及其回归 | 第37-38页 |
| 4.4 基于LS-SVM的温度补偿算法 | 第38-40页 |
| 4.5 实验结果与分析 | 第40-41页 |
| 4.5.1 实验环境 | 第40页 |
| 4.5.2 实验结果分析 | 第40-41页 |
| 4.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 复合传感器的故障诊断 | 第42-45页 |
| 5.1 引言 | 第42页 |
| 5.2 基于SVM的故障诊断算法 | 第42-43页 |
| 5.3 故障诊断实验与分析 | 第43-44页 |
| 5.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 结论与展望 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第51页 |
