| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 磁流变减振器及相关技术研究 | 第10-14页 |
| 1.2.1 磁流变液概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 磁流变减振器的研究与发展 | 第11-12页 |
| 1.2.3 磁流变减振器阻尼力传感技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 压阻式压力传感器的国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.1 压阻式压力传感器概述 | 第14-15页 |
| 1.3.2 压阻式压力传感器国内外研究情况 | 第15-16页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第16-17页 |
| 2 基于压阻原理的磁流变减振器阻尼力传感器设计 | 第17-43页 |
| 2.1 磁流变减振器阻尼力传感器的整体设计 | 第17-23页 |
| 2.1.1 阻尼力传感器的设计基础 | 第17-19页 |
| 2.1.2 阻尼力传感器的设计原则 | 第19-20页 |
| 2.1.3 阻尼力传感器的整体结构设计 | 第20-23页 |
| 2.2 压阻理论、圆膜片建模与阻尼力传感器的输出计算 | 第23-28页 |
| 2.2.1 压阻理论 | 第23-24页 |
| 2.2.2 圆膜片的建模 | 第24-27页 |
| 2.2.3 阻尼力传感器的输出计算 | 第27-28页 |
| 2.3 磁流变减振器阻尼力传感器的有限元仿真 | 第28-37页 |
| 2.3.1 阻尼力传感器膜片的位移、应力的有限元仿真 | 第29-35页 |
| 2.3.2 阻尼力传感器主要尺寸参数的确定 | 第35-37页 |
| 2.4 磁流变减振器阻尼力传感器芯片的版图设计 | 第37-42页 |
| 2.4.1 压阻系数的合理利用和掺杂浓度的选择 | 第37-40页 |
| 2.4.2 电阻位置排布 | 第40页 |
| 2.4.3 电阻阻值的确定 | 第40-41页 |
| 2.4.4 电阻条尺寸的确定 | 第41页 |
| 2.4.5 电阻条折弯数 | 第41-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 3 基于压阻原理的磁流变减振器阻尼力传感器的性能分析 | 第43-57页 |
| 3.1 磁流变减振器阻尼力传感器的性能指标 | 第43-44页 |
| 3.1.1 阻尼力传感器静态性能指标 | 第43页 |
| 3.1.2 阻尼力传感器的动态性能指标 | 第43-44页 |
| 3.2 磁流变减振器阻尼力传感器的静态特性分析 | 第44-49页 |
| 3.2.1 阻尼力传感器的灵敏度 | 第44-48页 |
| 3.2.2 阻尼力传感器的线性度 | 第48-49页 |
| 3.3 磁流变减振器阻尼力传感器的动态特性分析 | 第49-55页 |
| 3.3.1 阻尼力传感器的动态数学模型 | 第49-51页 |
| 3.3.2 阻尼力传感器的传递函数系数确定 | 第51-53页 |
| 3.3.3 阻尼力传感器的动态特性模拟 | 第53-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 4 基于压阻原理的磁流变减振器阻尼力传感器的制作工艺 | 第57-65页 |
| 4.1 磁流变减振器阻尼力传感器芯片的工艺研究 | 第57-61页 |
| 4.1.1 阻尼力传感器芯片的工艺流程 | 第57-59页 |
| 4.1.2 阻尼力传感器芯片的工艺设计 | 第59-61页 |
| 4.2 磁流变减振器阻尼力传感器的封装要求 | 第61-62页 |
| 4.3 贴片胶对阻尼力传感器芯片的应力影响 | 第62-64页 |
| 4.3.1 贴片胶的杨氏模量对阻尼力传感器封装应力的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.2 贴片胶的厚度对阻尼力传感器封装应力的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 总结与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 附录 | 第75页 |
