| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 概述 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.3 微机械加速度计分类 | 第12-17页 |
| 1.3.1 电容式加速度计 | 第12-14页 |
| 1.3.2 压阻式加速度计 | 第14-15页 |
| 1.3.3 隧道式加速度计 | 第15-16页 |
| 1.3.4 压电式加速度计 | 第16页 |
| 1.3.5 谐振式加速度计 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| 1.5 课题主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 电容式加速度计工作原理及数学模型 | 第19-28页 |
| 2.1 加速度计分析的模型原理 | 第19-21页 |
| 2.2 差分电容式加速度计的工作原理 | 第21-23页 |
| 2.3 大量程差分电容式加速度计的主要指标 | 第23-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 大量程电容式加速度计结构设计与仿真 | 第28-44页 |
| 3.1 大量程差分电容式加速度计的结构设计 | 第28-35页 |
| 3.1.1 整体结构及梁结构的设计 | 第28-29页 |
| 3.1.2 加速度计微结构尺寸的确定 | 第29-35页 |
| 3.2 大量程差分电容式加速度计模拟仿真与分析 | 第35-41页 |
| 3.2.1 静态分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 模态仿真与分析 | 第37-38页 |
| 3.2.3 应力分析 | 第38-39页 |
| 3.2.4 谐响应的分析 | 第39-40页 |
| 3.2.5 阻尼力分析 | 第40-41页 |
| 3.2.6 响应时间分析 | 第41页 |
| 3.3 大量程差分电容式加速度计微结构的 MATLAB 的响应分析 | 第41-43页 |
| 3.3.1 二阶系统分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 正弦输入的响应 | 第42-43页 |
| 3.3.3 冲击响应 | 第43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 加速度计的工艺流程及关键技术研究 | 第44-57页 |
| 4.1 大量程差分电容式加速度计的工艺流程研究 | 第44-48页 |
| 4.2 关键工艺技术 | 第48-53页 |
| 4.2.1 质量块湿法腐蚀 | 第48页 |
| 4.2.2 凸角削角的补偿 | 第48-49页 |
| 4.2.3 静电键合技术 | 第49-52页 |
| 4.2.4 ICP 技术 | 第52-53页 |
| 4.3 封装技术的研究 | 第53-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 个人简历 | 第63页 |