| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 直拉硅单晶生长简介 | 第10-12页 |
| 1.2.1 生长过程及制备方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 生长需求与挑战 | 第12页 |
| 1.3 CZ硅单晶生长控制研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 CZ硅单晶生长过程特性分析 | 第12-13页 |
| 1.3.2 CZ硅单晶生长建模研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.3 CZ硅单晶生长控制研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 论文研究的主要内容和章节安排 | 第16-17页 |
| 2 CZ硅单晶生长控制系统结构 | 第17-23页 |
| 2.1 关键变量分析 | 第17-18页 |
| 2.1.1 加热器对热场温度的作用 | 第17-18页 |
| 2.1.2 提拉速度对热场温度的作用 | 第18页 |
| 2.2 CZ硅单晶控制结构 | 第18-20页 |
| 2.2.1 基于视觉测径的双闭环控制系统 | 第18-19页 |
| 2.2.2 基于视觉测径的恒拉速串级控制系统 | 第19-20页 |
| 2.3 CZ硅单晶恒拉速生长控制策略 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 蚁狮优化算法及其改进 | 第23-31页 |
| 3.1 蚁狮优化算法 | 第23-24页 |
| 3.1.1 蚁狮优化算法原理 | 第23-24页 |
| 3.1.2 蚁狮优化算法缺点 | 第24页 |
| 3.2 蚁狮优化算法一次改进 | 第24-26页 |
| 3.2.1 Levy变异机制 | 第24-25页 |
| 3.2.2 精英自适应竞争机制 | 第25-26页 |
| 3.3 蚁狮优化算法二次改进 | 第26-27页 |
| 3.3.1 半径连续收缩机制 | 第26-27页 |
| 3.3.2 动态随机搜索机制 | 第27页 |
| 3.4 仿真实验 | 第27-30页 |
| 3.4.1 LEALO算法测试 | 第27-29页 |
| 3.4.2 RDALO算法测试 | 第29-30页 |
| 3.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 数据驱动的等径阶段热场温度建模 | 第31-45页 |
| 4.1 数据获取与预处理 | 第31-33页 |
| 4.1.1 数据采集与选取 | 第31页 |
| 4.1.2 数据分段与预处理 | 第31-32页 |
| 4.1.3 仿真实验 | 第32-33页 |
| 4.2 模型结构辨识 | 第33-37页 |
| 4.2.1 滞后阶次辨识 | 第33-34页 |
| 4.2.2 模型阶次辨识 | 第34-35页 |
| 4.2.3 仿真实验 | 第35-37页 |
| 4.3 模型参数辨识 | 第37-44页 |
| 4.3.1 数据段一的模型参数辨识 | 第37-38页 |
| 4.3.2 数据段二的模型参数辨识 | 第38-41页 |
| 4.3.3 仿真实验 | 第41-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 等径阶段热场温度控制 | 第45-63页 |
| 5.1 模型预测控制算法 | 第45-51页 |
| 5.1.1 广义预测控制算法 | 第45-48页 |
| 5.1.2 改进的广义预测控制算法 | 第48-50页 |
| 5.1.3 仿真实验 | 第50-51页 |
| 5.2 基于数据段一模型的热场温度控制 | 第51-54页 |
| 5.2.1 预测模型一的获取 | 第51-52页 |
| 5.2.2 基于数据段一模型的改进广义预测控制算法 | 第52-53页 |
| 5.2.3 仿真实验 | 第53-54页 |
| 5.3 基于数据段二模型的热场温度控制 | 第54-58页 |
| 5.3.1 预测模型二的获取 | 第54-55页 |
| 5.3.2 预测模型在线修正 | 第55-56页 |
| 5.3.3 基于数据段二模型的改进广义预测控制算法 | 第56页 |
| 5.3.4 仿真实验 | 第56-58页 |
| 5.4 模型切换控制 | 第58-61页 |
| 5.4.1 模型切换不稳定性分析 | 第58-59页 |
| 5.4.2 模型切换控制策略 | 第59-60页 |
| 5.4.3 仿真实验 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 工作总结 | 第63页 |
| 6.2 研究展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 研究成果 | 第69页 |