| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第15-35页 |
| 1.1 纳米科技概述 | 第15-16页 |
| 1.2 微/纳器件及纳米制造 | 第16-20页 |
| 1.3 当前纳米制造技术的发展状况及挑战 | 第20-31页 |
| 1.3.1 “自下而上”的纳米加工技术 | 第20-23页 |
| 1.3.2 “自上而下”的纳米加工技术 | 第23-31页 |
| 1.4 选题意义和研究内容 | 第31-35页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第31-32页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第32-35页 |
| 第2章 实验设备及方法 | 第35-48页 |
| 2.1 实验样品 | 第35-36页 |
| 2.2 实验设备 | 第36-40页 |
| 2.3 摩擦诱导纳米加工及选择性刻蚀过程 | 第40-42页 |
| 2.3.1 摩擦诱导加工过程 | 第40-41页 |
| 2.3.2 选择性刻蚀过程 | 第41-42页 |
| 2.4 表征设备及方法 | 第42-48页 |
| 2.4.1 表面形貌表征 | 第42-43页 |
| 2.4.2 微观结构表征 | 第43-44页 |
| 2.4.3 微区成分表征 | 第44-45页 |
| 2.4.4 加工结构性能表征 | 第45-48页 |
| 第3章 单晶石英表面摩擦诱导直接加工 | 第48-59页 |
| 3.1 摩擦诱导直接加工的规律 | 第48-51页 |
| 3.1.1 摩擦诱导直接加工的临界条件 | 第48-50页 |
| 3.1.2 摩擦循环次数和载荷对摩擦诱导直接加工的影响 | 第50-51页 |
| 3.2 摩擦诱导直接加工的机理 | 第51-54页 |
| 3.2.1 摩擦诱导直接加工的主导因素 | 第51-53页 |
| 3.2.2 摩擦诱导直接加工结构的XTEM观测 | 第53-54页 |
| 3.3 摩擦诱导可控加工 | 第54-55页 |
| 3.4 摩擦诱导直接加工结构的性能表征 | 第55-58页 |
| 3.4.1 摩擦诱导直接加工结构的机械性能 | 第55-57页 |
| 3.4.2 摩擦诱导直接加工结构的化学稳定性 | 第57-58页 |
| 3.5 小结 | 第58-59页 |
| 第4章 单晶石英表面摩擦诱导选择性刻蚀加工 | 第59-89页 |
| 4.1 摩擦诱导选择性刻蚀加工的规律 | 第59-71页 |
| 4.1.1 刻蚀时间对摩擦诱导选择性刻蚀的影响 | 第59-62页 |
| 4.1.2 扫描条件对摩擦诱导选择性刻蚀的影响 | 第62-67页 |
| 4.1.3 刻蚀温度对摩擦诱导选择性刻蚀的影响 | 第67-69页 |
| 4.1.4 纳米结构再加工 | 第69-71页 |
| 4.2 摩擦诱导选择性刻蚀加工的机理 | 第71-79页 |
| 4.2.1 加工区域微观结构的XTEM观测 | 第71-73页 |
| 4.2.2 单晶石英和非晶石英表面选择性刻蚀差异 | 第73-75页 |
| 4.2.3 摩擦诱导选择性刻蚀的反应机制 | 第75-79页 |
| 4.3 摩擦诱导选择性刻蚀可控加工 | 第79-84页 |
| 4.3.1 斜面加工方法 | 第79-80页 |
| 4.3.2 多级台阶加工 | 第80-81页 |
| 4.3.3 表面织构加工 | 第81-82页 |
| 4.3.4 指定图案的设计与加工 | 第82-84页 |
| 4.4 摩擦诱导选择性刻蚀加工结构的性能表征 | 第84-87页 |
| 4.4.1 机械性能表征 | 第84-85页 |
| 4.4.2 化学稳定性表征 | 第85-87页 |
| 4.5 小结 | 第87-89页 |
| 第5章 摩擦诱导纳米加工在其它材料表面的应用探索 | 第89-107页 |
| 5.1 玻璃表面摩擦诱导选择性刻蚀加工 | 第90-96页 |
| 5.1.1 玻璃表面摩擦诱导选择性刻蚀加工的规律 | 第90-91页 |
| 5.1.2 玻璃表面摩擦诱导选择性刻蚀加工的机理 | 第91-95页 |
| 5.1.3 玻璃表面摩擦诱导选择性刻蚀可控加工 | 第95-96页 |
| 5.2 基于摩擦化学的砷化镓表面低损伤摩擦诱导纳米加工 | 第96-102页 |
| 5.2.1 基于摩擦化学的砷化镓表面纳米线加工 | 第97-98页 |
| 5.2.2 砷化镓表面摩擦化学诱导加工的机理 | 第98-102页 |
| 5.2.3 基于摩擦化学的低损伤摩擦诱导可控加工 | 第102页 |
| 5.3 多点接触模式下的摩擦诱导纳米加工 | 第102-103页 |
| 5.4 摩擦诱导纳米加工 | 第103-106页 |
| 5.5 小结 | 第106-107页 |
| 结论和展望 | 第107-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-125页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及科研成果 | 第125-127页 |