MOCVD温度控制系统的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 研究MOCVD温度控制系统的目的及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 MOCVD温控系统国内外发展概况 | 第8-12页 |
| 1.2.1 MOCVD温控器国内外发展概况 | 第8-10页 |
| 1.2.2 MOCVD加热系统国内外发展概况 | 第10-12页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 MOCVD温度控制系统 | 第13-20页 |
| 2.1 概述 | 第13页 |
| 2.2 MOCVD温控系统分析 | 第13-18页 |
| 2.2.1 温度控制的对象 | 第13-14页 |
| 2.2.2 MOCVD温控系统结构 | 第14-15页 |
| 2.2.3 MOCVD温度控制组成 | 第15-18页 |
| 2.2.4 MOCVD温控系统的特点 | 第18页 |
| 2.3 温控系统总体设计方案 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 温控器硬件设计 | 第20-34页 |
| 3.1 主控制器设计 | 第20-24页 |
| 3.2 温度信号处理电路 | 第24-27页 |
| 3.2.1 热电偶设计选型 | 第24-26页 |
| 3.2.2 热电偶信号处理电路 | 第26页 |
| 3.2.3 A/D转换电路设计 | 第26-27页 |
| 3.3 PWM输出控制 | 第27-28页 |
| 3.4 CAN通信 | 第28-29页 |
| 3.5 显示电路设计 | 第29-30页 |
| 3.6 晶振和电源设计 | 第30-32页 |
| 3.6.1 晶振电路设计 | 第30-31页 |
| 3.6.2 电源电路设计 | 第31-32页 |
| 3.7 本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 温控器软件设计 | 第34-52页 |
| 4.1 温度控制系统算法的研究 | 第34-37页 |
| 4.1.1 PID温度控制算法 | 第35-37页 |
| 4.2 温度控制器软件设计 | 第37-50页 |
| 4.2.1 主程序设计 | 第37-41页 |
| 4.2.2 温度采集模块设计 | 第41-44页 |
| 4.2.3 温度控制子程序 | 第44-46页 |
| 4.2.4 LCD显示模块 | 第46-48页 |
| 4.2.5 按键程序设计 | 第48-50页 |
| 4.3 系统软件调试 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 MOCVD加热系统的分析 | 第52-64页 |
| 5.1 概述 | 第52页 |
| 5.2 MOCVD加热器的模拟仿真 | 第52-56页 |
| 5.2.1 反应腔体介绍 | 第53页 |
| 5.2.2 模拟仿真模型的建立 | 第53-54页 |
| 5.2.3 材料参数设定 | 第54-56页 |
| 5.3 加热器模拟仿真结果分析 | 第56-58页 |
| 5.3.1 三区加热 | 第56-57页 |
| 5.3.2 分离的三区加热 | 第57-58页 |
| 5.3.3 不同加热比下的温度分布 | 第58页 |
| 5.4 加热系统电路原理 | 第58-59页 |
| 5.5 加热系统PID试验测试 | 第59-63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
