| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景、目的及意义 | 第8页 |
| 1.2 表面形貌测量研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 接触式测量 | 第9-10页 |
| 1.2.2 非接触测量 | 第10-11页 |
| 1.3 探针型非接触轮廓测量方法 | 第11-14页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第14页 |
| 1.5 本章小结 | 第14-16页 |
| 第2章 单轴法线跟踪式测量系统建模和特性分析 | 第16-36页 |
| 2.1 单轴法线跟踪式测量系统的工作原理 | 第16-18页 |
| 2.2 测量部分系统介绍 | 第18-28页 |
| 2.2.1 高斯光束理论简介 | 第18-19页 |
| 2.2.2 测量光轴与待测面垂直情况下的测量系统建模 | 第19-28页 |
| 2.3 机械控制系统介绍 | 第28-34页 |
| 2.3.1 准直部分 | 第28-30页 |
| 2.3.2 电机控制部分 | 第30-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 单轴法线跟踪式测量系统参数及定位算法研究 | 第36-48页 |
| 3.1 单轴法线跟踪式测量系统针孔参数选择 | 第36-38页 |
| 3.1.1 单轴法线跟踪式测量系统针孔偏移最佳化距离 | 第36-37页 |
| 3.1.2 单轴法线跟踪式测量系统针孔最佳尺寸 | 第37-38页 |
| 3.2 倾斜状况时高斯光束对测量结果的影响分析 | 第38-44页 |
| 3.2.1 倾斜产生原因分析 | 第38-39页 |
| 3.2.2 待测面倾斜状态下高斯光束对测量结果的误差分析 | 第39-44页 |
| 3.3 过零触发算法研究 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 单轴法线跟踪式测量系统测头整体设计及实验 | 第48-62页 |
| 4.1 单轴法线跟踪式测量系统设计及实现 | 第48-54页 |
| 4.1.1 系统非光学部分整体设计 | 第48-51页 |
| 4.1.2 系统光学部分整体设计 | 第51-54页 |
| 4.2 实验结果与分析 | 第54-60页 |
| 4.2.1 测头分辨力实验步骤及数据 | 第54-59页 |
| 4.2.2 实验结果分析 | 第59-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
