| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第14-18页 |
| 第2章 电化学振动传感器介绍 | 第18-22页 |
| 2.1 电化学振动传感器结构 | 第18-19页 |
| 2.2 电化学振动传感器工作原理 | 第19-20页 |
| 2.3 传感器噪声种类介绍 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 电化学传感器敏感元件的等效电路模型研究 | 第22-36页 |
| 3.1 等效电路模型简介 | 第22-23页 |
| 3.2 敏感芯片单通道三维仿真模型的建立 | 第23-29页 |
| 3.2.1 敏感芯片单通道数学模型的建立 | 第25-27页 |
| 3.2.2 敏感芯片单通道仿真模型的建立 | 第27-29页 |
| 3.3 敏感芯片单通道的等效电路模型建立 | 第29-33页 |
| 3.4 敏感芯片单通道等效电路模型的证明 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 电化学振动传感器的静态噪声模型研究 | 第36-48页 |
| 4.1 自然对流噪声模型的建立 | 第36-47页 |
| 4.2 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 电化学振动传感器的动态噪声模型研究 | 第48-72页 |
| 5.1 湍流-层流动态噪声的数学模型建立 | 第48-52页 |
| 5.2 湍流-层流现象与多通道入口/出口效应的证明 | 第52-54页 |
| 5.3 湍流-层流动态噪声的抑制方法 | 第54-58页 |
| 5.3.1 敏感芯片最外侧绝缘层长度的影响 | 第55-56页 |
| 5.3.2 外界振动信号的强度 | 第56-58页 |
| 5.4 腔体两侧弹性膜对传感器动态响应的影响 | 第58-69页 |
| 5.4.1 腔体两侧弹性膜介绍 | 第59-62页 |
| 5.4.2 反应腔弹性膜的模型建立 | 第62-64页 |
| 5.4.3 弹性膜结构对传感器动态响应的分析 | 第64-66页 |
| 5.4.4 弹性膜结构对传感器动态响应的实测证明 | 第66-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-72页 |
| 第6章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |