| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 缩写符号表 | 第8-12页 |
| 1 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 甲醛危害及现有检测方法 | 第13-15页 |
| 1.2.1 甲醛来源及其危害 | 第13-14页 |
| 1.2.2 甲醛现有检测手段 | 第14-15页 |
| 1.3 甲醛气体传感器 | 第15-22页 |
| 1.3.1 气体传感器简介及分类 | 第15-17页 |
| 1.3.2 甲醛半导体气体传感器研究进展 | 第17-22页 |
| 1.4 石墨烯基气体传感器进展 | 第22-25页 |
| 1.4.1 传统石墨烯基甲醛气体传感器研究进展 | 第22-24页 |
| 1.4.2 垂直取向石墨烯的特性及相关气体传感器研究进展 | 第24-25页 |
| 1.5 本论文研究内容 | 第25-27页 |
| 2 实验材料与方法 | 第27-35页 |
| 2.1 实验材料 | 第27页 |
| 2.2 实验设备 | 第27-28页 |
| 2.3 材料表征方法 | 第28-30页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第28页 |
| 2.3.2 透射电子显微镜 | 第28-29页 |
| 2.3.3 X-射线光电子能谱分析 | 第29页 |
| 2.3.4 X射线衍射分析 | 第29-30页 |
| 2.4 电化学沉积 | 第30-32页 |
| 2.4.1 电化学沉积基础知识 | 第30页 |
| 2.4.2 电化学沉积设备及作用 | 第30-32页 |
| 2.5 气敏测试系统 | 第32-35页 |
| 3 垂直取向石墨烯/二氧化锡气敏传感器的制备 | 第35-53页 |
| 3.1 叉指电极 | 第35-37页 |
| 3.1.1 叉指电极的构成 | 第35-36页 |
| 3.1.2 叉指电极的制备过程 | 第36-37页 |
| 3.2 垂直取向石墨烯的制备与表征 | 第37-43页 |
| 3.2.1 垂直取向石墨烯的制备过程 | 第37-40页 |
| 3.2.2 垂直取向石墨烯的材料表征 | 第40-43页 |
| 3.3 二氧化锡的电化学沉积 | 第43-51页 |
| 3.3.1 二氧化锡电沉积的材料及原理 | 第43-44页 |
| 3.3.2 电化学沉积操作过程 | 第44-45页 |
| 3.3.3 电化学沉积表征 | 第45-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 4 气敏测试 | 第53-69页 |
| 4.1 气敏测试实验逻辑及指标选择 | 第53-55页 |
| 4.1.1 气敏测试的实验逻辑 | 第53页 |
| 4.1.2 信号定义 | 第53-54页 |
| 4.1.3 测试内容指标 | 第54-55页 |
| 4.2 气敏测试流程与实验 | 第55-56页 |
| 4.3 气敏测试结果与分析 | 第56-64页 |
| 4.3.1 电化学沉积量的影响 | 第57-58页 |
| 4.3.2 气体响应度及检测限 | 第58-60页 |
| 4.3.3 重复性和稳定性 | 第60-61页 |
| 4.3.4 选择性 | 第61-62页 |
| 4.3.5 温度的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.6 湿度的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 气敏原理分析 | 第64-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-72页 |
| 5.1 总结 | 第69-70页 |
| 5.2 本研究的创新点 | 第70-71页 |
| 5.3 研究展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 作者简历 | 第78页 |