| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第13页 |
| 1.2 激光加工技术 | 第13-14页 |
| 1.2.1 激光加工技术的应用 | 第13-14页 |
| 1.2.2 激光微细加工 | 第14页 |
| 1.3 激光微细加工金刚石材料的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 激光在金刚石上刻蚀微结构 | 第15-16页 |
| 1.3.2 激光在金刚石砂轮上刻蚀微结构 | 第16-18页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第18页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第18-21页 |
| 第二章 实验系统和实验方案 | 第21-29页 |
| 2.1 实验材料 | 第21-23页 |
| 2.1.1 金刚石材料及物理性能参数 | 第21-23页 |
| 2.1.2 AlSiC复合材料 | 第23页 |
| 2.2 实验装置与检测仪器 | 第23-27页 |
| 2.2.1 光纤激光器 | 第24页 |
| 2.2.2 高温高真空钎焊炉 | 第24-25页 |
| 2.2.3 高速加工中心 | 第25-26页 |
| 2.2.4 超景深三维显微系统 | 第26页 |
| 2.2.5 激光共聚焦显微镜 | 第26-27页 |
| 2.2.6 扫描电子显微镜 | 第27页 |
| 2.3 实验研究方案 | 第27-29页 |
| 第三章 光纤激光微细加工金刚石材料的工艺研究 | 第29-49页 |
| 3.1 光纤激光微细加工金刚石工艺研究 | 第29-38页 |
| 3.1.1 光纤激光的脉宽对微细加工金刚石的微沟槽尺寸影响 | 第29-32页 |
| 3.1.2 光纤激光的扫描速度对微细加工金刚石的微沟槽尺寸影响 | 第32-35页 |
| 3.1.3 光纤激光的扫描次数对加工金刚石的微沟槽的尺寸影响 | 第35-38页 |
| 3.2 光纤激光去除金刚石材料的机理分析 | 第38-40页 |
| 3.3 光纤激光微细加工CVD的V型沟槽研究 | 第40-47页 |
| 3.3.1 脉宽与扫描频次对V型沟槽宽度的影响 | 第41-43页 |
| 3.3.2 脉宽与扫描频次对V型沟槽深度的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.3 激光刻蚀的三种V型沟槽微结构的实际形貌 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 单层有序钎焊金刚石微结构磨削刃砂轮制备工艺研究 | 第49-59页 |
| 4.1 基体设计及金刚石磨粒在砂轮上的有序排布 | 第49-53页 |
| 4.1.1 砂轮基体的设计 | 第49-50页 |
| 4.1.2 计算金刚石磨粒在砂轮基体上的金刚石磨粒浓度 | 第50-52页 |
| 4.1.3 对金刚石磨粒的有序排布实验效果 | 第52-53页 |
| 4.2 有序钎焊金刚石砂轮制备及平顶化现象研究 | 第53-56页 |
| 4.2.1 对金刚石磨粒的有序排布实验效果 | 第53-54页 |
| 4.2.2 钎焊后的端面砂轮金刚石磨粒平顶化现象及平顶化 | 第54-56页 |
| 4.3 光纤激光微刻蚀带有微结构磨削刃的端面砂轮 | 第56-58页 |
| 4.3.1 激光微刻蚀轨迹设计 | 第56-57页 |
| 4.3.2 微结构磨削刃的端面砂轮 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 有序钎焊微结构磨削刃砂轮的性能研究 | 第59-73页 |
| 5.1 微结构磨削刃砂轮磨削实验 | 第59-64页 |
| 5.1.1 微结构磨削刃金刚石端面砂轮磨削AlSiC复合材料的性能研究 | 第59-64页 |
| 5.2 磨削后材料的表面形貌及端面砂轮的表面形貌观察 | 第64-68页 |
| 5.2.1 被加工材料的表面形貌 | 第64-67页 |
| 5.2.2 磨削材料表面粗糙度 | 第67-68页 |
| 5.3 钎焊金刚石微刃砂轮的磨损 | 第68-72页 |
| 5.3.1 砂轮金刚石磨粒的磨损 | 第68-69页 |
| 5.3.2 端面砂轮的金刚石磨粒表面破碎比较 | 第69-71页 |
| 5.3.3 端面磨削砂轮加工后金刚石磨粒表面的粘附情况 | 第71-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文与申请的专利 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
