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钛合金化学机械抛光及纳米压痕阵列表面制造研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-15页
    1.1 课题背景第9-11页
        1.1.1 钛及钛合金的应用第9-10页
        1.1.2 课题来源及研究意义第10-11页
    1.2 钛合金孪晶化的研究现状第11-13页
        1.2.1 纳米孪晶的性能与制备方法第11-13页
        1.2.2 钛合金孪晶化的研究现状第13页
    1.3 本文的主要研究内容第13-15页
2 钛合金的化学机械抛光第15-36页
    2.1 化学机械抛光简介第15-16页
    2.2 影响化学机械抛光的因素第16-19页
    2.3 钛合金的化学机械抛光第19-35页
        2.3.1 研磨抛光设备和检测设备第19-21页
        2.3.2 钛合金样品的研磨第21-22页
        2.3.3 抛光垫的选择第22-24页
        2.3.4 磨料及其粒径尺寸的选择第24-27页
        2.3.5 磨料浓度的选择第27-28页
        2.3.6 氧化剂及其浓度的选择第28-31页
        2.3.7 抛光时抛光压力的选择第31-33页
        2.3.8 PH调节剂、络合剂的选择第33页
        2.3.9 超光滑钛合金表面的制备第33-35页
    2.4 钛合金样品的清洗第35页
    2.5 本章小结第35-36页
3 纳米压痕实验制备钛合金纳米孪晶表面第36-56页
    3.1 纳米压痕理论基础第36-40页
        3.1.1 应变梯度塑性理论第36页
        3.1.2 Hainsworth方法第36页
        3.1.3 经典Oliver和Pharr方法第36-40页
    3.2 TA16钛合金的纳米压痕实验第40-52页
        3.2.1 实验条件和表征仪器第40-43页
        3.2.2 钛合金压痕实验结果与分析第43-50页
        3.2.3 钛合金压痕扫描电镜表征第50-52页
    3.3 钛合金表面多次循环加载压痕与纳米压痕阵列实验第52-54页
    3.4 本章小结第54-56页
4 纳米压痕阵列透射表征及纳米孪晶生成机理研究分析第56-63页
    4.1 仪器设备及其原理介绍第56-57页
    4.2 透射样品的制备第57-58页
    4.3 钛合金纳米孪晶的表征和生成机理分析第58-62页
        4.3.1 未经纳米压痕钛合金表面的透射电镜表征第58页
        4.3.2 纳米压痕处理钛合金表面的透射电镜表征第58-62页
    4.4 本章小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-69页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第69-70页
致谢第70-71页

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