驻极体转速传感器研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 驻极体材料的简要介绍 | 第13-16页 |
| 1.2.1 驻极体的概念 | 第13-14页 |
| 1.2.2 驻极体保存电荷的机理 | 第14页 |
| 1.2.3 驻极体的评价指标和常用材料 | 第14-16页 |
| 1.3 驻极体的应用 | 第16-20页 |
| 1.3.1 驻极体麦克风 | 第16-17页 |
| 1.3.2 驻极体扬声器 | 第17页 |
| 1.3.3 驻极体振动能量收集器件 | 第17-19页 |
| 1.3.4 驻极体加速度计 | 第19页 |
| 1.3.5 驻极体静电场探测器 | 第19-20页 |
| 1.3.6 驻极体转速传感器 | 第20页 |
| 1.4 本文的研究工作 | 第20-21页 |
| 1.5 本文工作与创新点 | 第21-22页 |
| 1.6 论文结构安排 | 第22-24页 |
| 2 驻极体转速传感器原理 | 第24-33页 |
| 2.1 传统转速传感器简介 | 第24-25页 |
| 2.2 工作原理分析 | 第25-30页 |
| 2.2.1 电路模型分析 | 第25-26页 |
| 2.2.2 几何模型分析 | 第26-28页 |
| 2.2.3 器件参数分析 | 第28-30页 |
| 2.3 有限元分析 | 第30-32页 |
| 2.3.1 电场及电势分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 电极间距分析 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 驻极体转速传感器器件制作 | 第33-40页 |
| 3.1 器件工艺设计 | 第33-35页 |
| 3.2 器件加工 | 第35-37页 |
| 3.2.1 金属电极制备 | 第35-36页 |
| 3.2.2 驻极体材料制备 | 第36-37页 |
| 3.3 制备工艺流程 | 第37-38页 |
| 3.4 制备结果 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 驻极体驻极工艺研究 | 第40-51页 |
| 4.1 电晕充电 | 第40-42页 |
| 4.2 加入栅极电压的电晕充电 | 第42-45页 |
| 4.2.1 方法介绍 | 第42-43页 |
| 4.2.2 栅电极充电原理 | 第43-44页 |
| 4.2.3 驻极体内部电荷分析 | 第44-45页 |
| 4.3 隧穿充电 | 第45-47页 |
| 4.3.1 方法介绍 | 第45-46页 |
| 4.3.2 原理分析 | 第46-47页 |
| 4.4 充电工艺设计 | 第47-50页 |
| 4.4.1 电晕充电 | 第47-48页 |
| 4.4.2 隧穿充电 | 第48页 |
| 4.4.3 充电装置及结果 | 第48-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 测试结果及系统搭建 | 第51-62页 |
| 5.1 充电性能测试 | 第51-52页 |
| 5.1.1 驻极体材料充电性能测试 | 第51-52页 |
| 5.1.2 充电方式充电性能测试 | 第52页 |
| 5.2 转速测试 | 第52-55页 |
| 5.2.1 测试装置 | 第52-53页 |
| 5.2.2 测试结果 | 第53-55页 |
| 5.3 单片机系统搭建 | 第55-61页 |
| 5.3.1 单片机系统测量原理 | 第55-57页 |
| 5.3.2 整体单片机系统仿真 | 第57-59页 |
| 5.3.3 单片机系统测试 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 作者简历及攻读硕士/博士学位期间取得的研究成果 | 第69-71页 |
| 学位论文数据集 | 第71页 |
