| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 硅微机械陀螺仪概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 硅微机械陀螺仪的分类和性能指标 | 第9-10页 |
| 1.1.2 硅微机械陀螺仪的特点 | 第10-11页 |
| 1.2 硅微陀螺仪国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 硅微陀螺仪国外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 硅微陀螺仪国内研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 硅微陀螺仪抗冲击性能研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 本文研究的目的和意义 | 第20页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 硅微陀螺仪基本理论 | 第22-31页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 哥氏效应 | 第22-23页 |
| 2.3 硅微陀螺仪动力学分析 | 第23-25页 |
| 2.4 硅微陀螺仪驱动与检测方式 | 第25-29页 |
| 2.4.1 静电驱动 | 第25-27页 |
| 2.4.1.1 变间距式驱动 | 第25-26页 |
| 2.4.1.2 变重叠面积式驱动 | 第26-27页 |
| 2.4.2 静电驱动原理 | 第27-28页 |
| 2.4.3 电容检测 | 第28-29页 |
| 2.4.3.1 平板电容检测结构 | 第28页 |
| 2.4.3.2 梳齿电容检测结构 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 抗冲击硅微机械陀螺仪结构设计 | 第31-49页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 结构设计理论分析 | 第31-38页 |
| 3.2.1 硅微陀螺仪敏感结构的冲击响应模型研究 | 第31-32页 |
| 3.2.2 冲击载荷 | 第32页 |
| 3.2.3 冲击响应 | 第32-34页 |
| 3.2.3.1 无阻尼系统的固有频率及振型 | 第32-33页 |
| 3.2.3.2 振型叠加法求解系统的冲击响应 | 第33-34页 |
| 3.2.4 仿真验证 | 第34-35页 |
| 3.2.5 冲击响应与冲击载荷特征参数、陀螺仪结构特征参数之间的关系 | 第35-38页 |
| 3.3 结构设计 | 第38-48页 |
| 3.3.1 整体结构及及特点 | 第38页 |
| 3.3.2 驱动方式和检测方式的设计 | 第38页 |
| 3.3.3 支撑梁的设计 | 第38-40页 |
| 3.3.4 特殊机械耦合机构的设计 | 第40-44页 |
| 3.3.4.1 驱动方向杠杆耦合机构 | 第40-42页 |
| 3.3.4.2 检测方向特殊的机械耦合机构 | 第42-44页 |
| 3.3.5 止挡机构设计 | 第44页 |
| 3.3.6 结构相关参数的确定及在此参数下的相关计算 | 第44-48页 |
| 3.3.6.1 结构相关参数的确定 | 第44-47页 |
| 3.3.6.2 结构参数确定下的相关理论计算 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 硅微机械陀螺仪结构仿真 | 第49-67页 |
| 4.1 陀螺仪抗冲击能力仿真 | 第49-57页 |
| 4.1.1 硅微陀螺仪结构在无止挡机构时的抗冲击能力仿真研究 | 第49-53页 |
| 4.1.2 硅微陀螺仪结构在有止挡机构时的抗冲击能力仿真研究 | 第53-57页 |
| 4.2 加工误差对硅微陀螺仪冲击响应的影响 | 第57-58页 |
| 4.3 重力仿真 | 第58-59页 |
| 4.4 谐响应分析 | 第59-64页 |
| 4.5 封装热应力仿真 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结构的加工与测试 | 第67-74页 |
| 5.1 加工工艺简介 | 第67-69页 |
| 5.2 裸片测试 | 第69-71页 |
| 5.2.1 实验设备 | 第69-70页 |
| 5.2.2 驱动频率测试 | 第70-71页 |
| 5.2.3 检测频率测试 | 第71页 |
| 5.3 硅微陀螺仪的封装 | 第71-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第74-75页 |
| 6.2 对未来工作的展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 在学期间发表的论文 | 第81页 |
