| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景与选题意义 | 第10-11页 |
| ·微机械陀螺仪发展现状 | 第11-17页 |
| ·国外发展现状 | 第12-15页 |
| ·国内发展现状 | 第15-17页 |
| ·课题来源与主要工作内容 | 第17-18页 |
| 第二章 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪理论基础 | 第18-31页 |
| ·科氏效应和科氏加速度 | 第18-20页 |
| ·线振动式微机械陀螺仪动力学模型及动力学分析 | 第20-23页 |
| ·微机械陀螺仪的驱动和检测技术 | 第23-27页 |
| ·静电驱动原理 | 第23-26页 |
| ·电容检测原理 | 第26-27页 |
| ·微机械陀螺仪主要性能指标描述 | 第27-29页 |
| ·零偏 | 第27页 |
| ·分辨率 | 第27-28页 |
| ·标度因子 | 第28页 |
| ·动态范围 | 第28页 |
| ·带宽 | 第28-29页 |
| ·微机械陀螺仪误差来源分析 | 第29-31页 |
| ·正交误差 | 第29页 |
| ·轴向加速度的影响 | 第29-30页 |
| ·噪声的影响 | 第30-31页 |
| 第三章 梳状音叉双线振微机械陀螺仪主体结构设计 | 第31-50页 |
| ·结构设计准则 | 第31-32页 |
| ·梳状音叉双线振微机械陀螺仪结构及工作原理 | 第32-33页 |
| ·弹性支撑梁设计 | 第33-42页 |
| ·设计中的考虑因素 | 第33-34页 |
| ·弹性支撑梁的选型与布局 | 第34-40页 |
| ·折叠梁的设计 | 第40-42页 |
| ·梳状音叉双线振微机械陀螺仪动力学设计及模态有限元仿真 | 第42-50页 |
| ·驱动模态的设计及频率设计 | 第42-44页 |
| ·检测模态的设计及频率设计 | 第44-45页 |
| ·梳状音叉双线振微机械陀螺仪模态仿真 | 第45-50页 |
| 第四章 梳状音叉双线振微机械陀螺仪结构优化设计仿真 | 第50-66页 |
| ·降低正交误差 | 第50-59页 |
| ·解耦优化设计 | 第52-57页 |
| ·隔离优化设计 | 第57-59页 |
| ·品质因素分析 | 第59-66页 |
| ·热弹性阻尼分析 | 第59-63页 |
| ·支撑耗散 | 第63-65页 |
| ·表面耗散 | 第65-66页 |
| 第五章 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪的制造 | 第66-71页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第66-68页 |
| ·MEMS 系统的优点 | 第66-67页 |
| ·几种MEMS 加工技术 | 第67-68页 |
| ·梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪加工 | 第68-71页 |
| ·SOI 材料介绍 | 第68-69页 |
| ·梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪加工过程 | 第69-71页 |
| 第六章 总结及展望 | 第71-73页 |
| ·论文的主要工作内容 | 第71-72页 |
| ·工作展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第77-78页 |