| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 激光自混合干涉技术的研究意义 | 第7页 |
| 1.2 激光自混合干涉技术的发展需求 | 第7-8页 |
| 1.3 激光自混合干涉调制技术及研究进展 | 第8-13页 |
| 1.3.1 电流调制技术 | 第8-11页 |
| 1.3.2 相位调制技术 | 第11-13页 |
| 1.4 课题来源 | 第13页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 激光自混合干涉效应原理分析与实验研究 | 第14-23页 |
| 2.1 前言 | 第14页 |
| 2.2 激光自混合干涉效应理论模型 | 第14-17页 |
| 2.3 激光自混合干涉效应模拟分析 | 第17-19页 |
| 2.4 激光自混合干涉效应实验观察 | 第19-22页 |
| 2.4.1 实验装置 | 第19页 |
| 2.4.2 实验结果 | 第19-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量技术研究 | 第23-36页 |
| 3.1 前言 | 第23-24页 |
| 3.2 正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理及仿真分析 | 第24-28页 |
| 3.2.1 位移测量原理 | 第24-25页 |
| 3.2.2 仿真分析 | 第25-28页 |
| 3.3 正弦相位调制型激光自混合干涉系统位移测量的实现 | 第28-33页 |
| 3.3.1 实验装置 | 第28-29页 |
| 3.3.2 数据采集与处理 | 第29-33页 |
| 3.4 实验结果 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 正弦相位调制自混合干涉仪位移测量标定系统及实用化设计 | 第36-48页 |
| 4.1 前言 | 第36页 |
| 4.2 标定系统 | 第36-39页 |
| 4.2.1 Agilent 5529A校准仪标定模块 | 第36-37页 |
| 4.2.2 实验系统光路搭建 | 第37-39页 |
| 4.3 仪器实用化设计 | 第39-41页 |
| 4.3.1 仪器靶镜设计 | 第39-41页 |
| 4.3.2 仪器外壳设计 | 第41页 |
| 4.4 实验结果与误差分析 | 第41-47页 |
| 4.4.1 实验结果 | 第41-45页 |
| 4.4.2 误差分析 | 第45-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 附录 | 第49-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 读研期间研究成果及荣誉 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
