压力传感器结构设计和优化分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 压力传感器的发展历史 | 第9页 |
| 1.3 压力传感器的应用 | 第9-10页 |
| 1.4 压力传感器的分类 | 第10-17页 |
| 1.4.1 压阻式压力传感器 | 第10-11页 |
| 1.4.2 电容式压力传感器 | 第11-13页 |
| 1.4.3 压电式压力传感器 | 第13-14页 |
| 1.4.4 伺服控制压力传感器 | 第14-15页 |
| 1.4.5 谐振式压力传感器 | 第15-16页 |
| 1.4.6 CMOS集成压力传感器 | 第16页 |
| 1.4.7 小结 | 第16-17页 |
| 1.5 压力传感器的技术指标 | 第17-18页 |
| 1.6 压力传感器的检测方法 | 第18-21页 |
| 1.6.1 静电力 | 第19-20页 |
| 1.6.2 典型静电驱动器件 | 第20-21页 |
| 1.7 本论文的主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 压阻式压力传感器及检测结构的理论分析 | 第23-43页 |
| 2.1 压阻式压力传感器的工作原理 | 第23-25页 |
| 2.2 传感器结构的理论模型分析 | 第25-30页 |
| 2.2.1 薄膜小挠度理论分析 | 第25页 |
| 2.2.2 薄膜的挠度和应力分析 | 第25-30页 |
| 2.3 压阻式压力传感器测试结构的理论分析 | 第30-37页 |
| 2.3.1 静电力 | 第30-31页 |
| 2.3.2 平板电极静电力计算 | 第31-37页 |
| 2.4 压阻式压力传感器及其检测结构的设计与仿真 | 第37-42页 |
| 2.4.1 压阻式压力传感器及其检测结构设计 | 第37页 |
| 2.4.2 压阻式压力传感器及其检测结构仿真 | 第37-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 压力传感器及其检测结构的制备 | 第43-55页 |
| 3.1 压力传感器及其检测结构的工艺流程 | 第43-45页 |
| 3.2 压力传感器及其检测结构的版图设计 | 第45-49页 |
| 3.2.1 压敏电阻条及检测下电极版图设计 | 第45-46页 |
| 3.2.2 重掺杂区版图设计 | 第46页 |
| 3.2.3 引线引出区版图设计 | 第46-47页 |
| 3.2.4 引线及PAD版图设计 | 第47页 |
| 3.2.5 空腔区版图设计 | 第47-48页 |
| 3.2.6 检测电极及PAD版图设计 | 第48页 |
| 3.2.7 金属铟凸点版图设计 | 第48-49页 |
| 3.3 主要工艺讨论 | 第49-51页 |
| 3.3.1 光刻 | 第49-50页 |
| 3.3.2 离子注入 | 第50页 |
| 3.3.3 自停止腐蚀 | 第50页 |
| 3.3.4 金属剥离 | 第50-51页 |
| 3.3.5 倒装焊 | 第51页 |
| 3.4 压力传感器及其检测结构样品 | 第51-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 压阻式压力传感器性能测试分析 | 第55-63页 |
| 4.1 压力传感器测试系统 | 第55-59页 |
| 4.1.1 测试系统硬件设计 | 第55-57页 |
| 4.1.2 测试系统软件设计 | 第57-59页 |
| 4.2 压力测试环境 | 第59页 |
| 4.3 压力传感器测试结果和分析 | 第59-61页 |
| 4.3.1 灵敏度与非线性度 | 第59-60页 |
| 4.3.2 重复性 | 第60页 |
| 4.3.3 回滞特性 | 第60-61页 |
| 4.4 静电力结果分析 | 第61-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 工作总结 | 第63页 |
| 5.2 工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
