| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景、来源及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 课题研究来源 | 第11页 |
| 1.1.3 课题研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 组合设备调度与控制概述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 组合设备 | 第12-13页 |
| 1.2.2 组合设备建模与分析 | 第13-14页 |
| 1.2.3 组合设备调度与控制研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.4 相关调度问题研究 | 第16-17页 |
| 1.3 研究内容和论文框架 | 第17-18页 |
| 1.3.1 课题主要研究内容 | 第17页 |
| 1.3.2 论文框架 | 第17-18页 |
| 1.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 面向过程与面向资源的Petri网 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 Petri网基本概念 | 第19-20页 |
| 2.3 Petri网基本特性 | 第20-21页 |
| 2.4 面向过程的Petri网 | 第21-23页 |
| 2.5 面向资源的Petri网 | 第23-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 系统ROPN建模 | 第28-41页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 晶圆混合加工过程 | 第28-33页 |
| 3.2.1 无PM共享情形 | 第28-30页 |
| 3.2.2 有PM共享情形 | 第30-33页 |
| 3.3 系统ROPN建模 | 第33-37页 |
| 3.3.1 生产流程建模 | 第33-35页 |
| 3.3.2 活动时间建模 | 第35-37页 |
| 3.4 系统ROPN模型死锁避免控制 | 第37-40页 |
| 3.4.1 无PM共享时系统ROPN模型死锁避免控制 | 第37页 |
| 3.4.2 有PM共享时系统ROPN模型死锁避免控制 | 第37-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 可调度性分析及判定 | 第41-55页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 生产节拍分析 | 第41-49页 |
| 4.2.1 晶圆固有生产节拍 | 第41-42页 |
| 4.2.2 机械手生产节拍 | 第42-43页 |
| 4.2.3 稳态加工特征及约束 | 第43-45页 |
| 4.2.4 工作负载平衡 | 第45-49页 |
| 4.3 系统可调度性判定 | 第49-54页 |
| 4.3.1 无PM混合情形 | 第49-51页 |
| 4.3.2 有PM混合情形 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 稳态调度求解算法及实例 | 第55-64页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 无PM共享多品种晶圆混合加工稳态调度求解 | 第55-58页 |
| 5.2.1 调度算法 | 第55-57页 |
| 5.2.2 例子 | 第57-58页 |
| 5.3 有PM共享多品种晶圆混合加工稳态调度求解 | 第58-63页 |
| 5.3.1 调度算法 | 第58-61页 |
| 5.3.2 例子 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读学位期间参研项目与主要研究成果 | 第72-73页 |