| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 微流控芯片的材料、工艺 | 第11-16页 |
| 1.2.1 聚合物材料 | 第11-12页 |
| 1.2.2 微加工工艺现状研究 | 第12-13页 |
| 1.2.3 聚合物热压成形设备的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 各章研究内容简述 | 第16-17页 |
| 2 聚合物的粘弹性理论研究 | 第17-29页 |
| 2.1 聚合物材料特性 | 第17-20页 |
| 2.1.1 聚合物的三种状态 | 第17页 |
| 2.1.2 蠕变和应力松弛 | 第17-20页 |
| 2.2 聚合物材料的尺寸效应 | 第20-23页 |
| 2.3 聚合物材料的激光切割特性 | 第23-24页 |
| 2.4 聚合物的粘弹性模型 | 第24-28页 |
| 2.4.1 经典粘弹性模型 | 第24-27页 |
| 2.4.2 广义Maxwell模型 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 PET和PMMA芯片的加工工艺探究 | 第29-41页 |
| 3.1 概述 | 第29页 |
| 3.2 CO_2激光在PET基板加工微通道的工艺研究 | 第29-34页 |
| 3.2.1 材料与工艺方法 | 第29-30页 |
| 3.2.2 CO_2激光参数对微通道的影响 | 第30-33页 |
| 3.2.3 最佳加工参数下的通道精度研究 | 第33-34页 |
| 3.3 四层PMMA芯片的加工工艺研究 | 第34-40页 |
| 3.3.1 材料与工艺方法 | 第34-35页 |
| 3.3.2 四层多浓度微稀释器的设计 | 第35-36页 |
| 3.3.3 CO_2激光工艺参数对微通道的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.4 热键合工艺及强度测试 | 第37-39页 |
| 3.3.5 微器件在样品稀释中的应用实验 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 微混合器的设计仿真研究 | 第41-69页 |
| 4.1 概述 | 第41页 |
| 4.2 菱形微柱结构混合器仿真研究 | 第41-53页 |
| 4.2.1 微混合器的设计 | 第41-43页 |
| 4.2.2 微混合单元的内部结构与选取 | 第43页 |
| 4.2.3 控制方程 | 第43-45页 |
| 4.2.4 网格独立性测试 | 第45-46页 |
| 4.2.5 菱形微柱结构的位置选择 | 第46-47页 |
| 4.2.6 菱形微柱结构的形状优化 | 第47-50页 |
| 4.2.7 微混合器混合效率研究 | 第50-53页 |
| 4.3 F型微混合器的仿真研究 | 第53-56页 |
| 4.3.1 微混合器的设计及网格测试 | 第53-54页 |
| 4.3.2 微混合器的仿真结果 | 第54-56页 |
| 4.4 E型微混合器的仿真研究 | 第56-59页 |
| 4.4.1 微混合器的设计及网格测试 | 第56-57页 |
| 4.4.2 微混合器的仿真结果 | 第57-59页 |
| 4.5 多层立体结构的微混合器的仿真研究 | 第59-68页 |
| 4.5.1 多层微混合器的设计及网格测试 | 第59-61页 |
| 4.5.2 多层微混合器通道内部混合行为分析 | 第61-67页 |
| 4.5.3 多层微混合器的压降分析 | 第67-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 多层立体通道网格结构的微混合器的制造方法研究 | 第69-77页 |
| 5.1 概述 | 第69页 |
| 5.2 多层微混合器件的制造方法 | 第69-73页 |
| 5.2.1 材料与加工设备 | 第69-72页 |
| 5.2.2 多层微器件的工艺 | 第72-73页 |
| 5.3 多层微混合器件的质量评价 | 第73-74页 |
| 5.4 多层微混合器件混合效率测定 | 第74-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 6 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士期间参加科研及发表学术论文情况 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |