| 摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题的研究依据和意义 | 第9-11页 |
| ·矢量水声传感器的国内外发展现状 | 第11-14页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的工作原理 | 第16-26页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的仿生原理 | 第16-17页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的敏感原理 | 第17-22页 |
| ·压电效应 | 第17-19页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器动力学振动模型 | 第19-21页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器压电模块工作原理 | 第21-22页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的定向探测 | 第22-25页 |
| ·声学理论分析水声传感器的拾振条件 | 第22页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的定向理论研究 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 压电式MEMS仿生矢量水声传感器基础结构设计与仿真 | 第26-39页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器基础芯片的设计 | 第26-27页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器基础芯片的力学特性分析 | 第27-32页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器基础芯片的ANSYS仿真分析 | 第32-38页 |
| ·静力学分析 | 第32-35页 |
| ·模态仿真分析 | 第35-37页 |
| ·谐响应分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器件制造 | 第39-52页 |
| ·MEMS器件结构加工流程设计 | 第39-40页 |
| ·MEMS器件结构的版图设计 | 第40-43页 |
| ·PZT压电功能薄膜材料的制备及性能研究 | 第43-46页 |
| ·PZT薄膜层的制备方法 | 第43-44页 |
| ·Sol-Gel法制备PZT薄膜 | 第44-45页 |
| ·PZT薄膜的性能表征 | 第45-46页 |
| ·MEMS器件结构加工工艺研究 | 第46-49页 |
| ·仿纤毛结构的柔性的粘接技术 | 第49-50页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的仿生封装 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 压电式MEMS仿生矢量水声传感器性能的初步测试 | 第52-57页 |
| ·压电式MEMS仿生矢量水声传感器的振动台测试 | 第52-53页 |
| ·压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的水声校准测试 | 第53-56页 |
| ·接收灵敏度校准测试 | 第53-54页 |
| ·指向性测试 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·论文的主要研究内容及结论 | 第57-58页 |
| ·论文创新点 | 第58页 |
| ·工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
