| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景及研究目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·激光切割过程中激光焦点位置检测技术国内外研究现状 | 第10-11页 |
| ·激光切割头位姿调整技术的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·微电容传感器检测电路的技术现状 | 第12-15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 激光切割头多点测量位移传感器的设计 | 第16-34页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·激光切割头多点测量传感器的技术要求和工作原理 | 第16-20页 |
| ·激光切割对激光焦点位置检测传感器的技术要求 | 第16-17页 |
| ·多点测量传感器的结构和原理 | 第17-20页 |
| ·多电容传感器检测曲面法矢量的原理 | 第20-24页 |
| ·多电容传感器检测曲面法矢量原理的数学描述 | 第20-23页 |
| ·影响法矢量检测精度的因素分析 | 第23-24页 |
| ·工件表面形貌对位置检测传感器的误差分析 | 第24-27页 |
| ·传感器结构与激光切割工况对传感器性能的影响 | 第27-31页 |
| ·传感器的结构稳定性设计 | 第27-29页 |
| ·激光切割工况对传感器的影响 | 第29-31页 |
| ·传感器的结构设计和参数选择 | 第31-33页 |
| ·集成多电容传感器的切割头结构设计 | 第31页 |
| ·传感器的参数选择 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 微电容传感器检测电路的研制 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·微电容传感器检测电路的总体方案设计 | 第34-35页 |
| ·微电容传感器检测电路的设计 | 第35-42页 |
| ·方波激励源电路 | 第35-36页 |
| ·运算放大器式C/V 转换电路 | 第36-38页 |
| ·双T 型带阻滤波电路 | 第38-39页 |
| ·精密整流电路 | 第39-40页 |
| ·滤波电路 | 第40-41页 |
| ·电路的最高激励频率 | 第41页 |
| ·电子元器件的选择 | 第41-42页 |
| ·电路中噪声与抗干扰的抑制措施 | 第42-43页 |
| ·多电容传感器的检测电路设计 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 单电容传感器性能测试实验研究 | 第46-53页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·单电容传感器距离检测实验 | 第46-49页 |
| ·实验方案与装置 | 第46-47页 |
| ·实验步骤 | 第47-48页 |
| ·实验结果及分析 | 第48-49页 |
| ·电路时漂检测实验 | 第49-50页 |
| ·模拟激光切割工况环境下的传感器性能测试实验 | 第50-51页 |
| ·传感器动态特性实验 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 多电容传感器性能测试试验研究 | 第53-70页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·两瓣式电容传感器之间是否存在干扰的检测试验 | 第53-55页 |
| ·试验目的与装置 | 第53页 |
| ·试验步骤 | 第53-54页 |
| ·试验结果分析 | 第54-55页 |
| ·两瓣式电容传感器的距离检测试验 | 第55-56页 |
| ·试验目的、装置与步骤 | 第55页 |
| ·试验结果分析 | 第55-56页 |
| ·两瓣式电容传感器对斜面法矢量的检测试验 | 第56-62页 |
| ·试验目的与装置 | 第56页 |
| ·试验步骤 | 第56-57页 |
| ·试验结果分析 | 第57-62页 |
| ·两瓣式电容传感器对圆柱面法矢量的检测试验 | 第62-69页 |
| ·试验目的与装置 | 第62-63页 |
| ·试验步骤 | 第63页 |
| ·试验结果分析 | 第63-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 附录 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79页 |