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电铸阴极沉积均匀性基础研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
图表清单第8-9页
注释表第9-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·电铸技术简介第10-16页
     ·电铸的基本原理第10-11页
     ·电铸的基本工艺过程第11-12页
     ·电铸的优缺点第12-13页
     ·电铸技术的应用第13-16页
   ·电铸技术的研究进展第16-18页
     ·电铸层均匀性第16-17页
     ·电铸层质量第17-18页
     ·电铸速度第18页
   ·改善电铸层均匀性的研究现状第18-20页
   ·课题的研究目的及主要内容第20-22页
第二章 电铸过程的相关理论第22-36页
   ·金属电沉积原理第22-27页
     ·电化学理论第22-25页
       ·法拉第定律第22-23页
       ·电极/溶液界面性质第23-25页
       ·电极极化第25页
     ·金属电结晶理论第25-27页
   ·电场基本理论第27-31页
     ·导电媒质中稳定电场的基本概念第27-28页
     ·导电媒质中稳定电场的基本方程第28-30页
     ·稳定电场边值问题及求解第30-31页
   ·金属电沉积时阴极表面上电流的分布第31-34页
   ·金属电沉积时金属在阴极上的沉积分布第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第三章 电铸阳极设计方法第36-47页
   ·有限元法的基本步骤第36-40页
     ·电铸电场数学模型的建立第36-37页
     ·电铸电场数学模型的有限元法求解第37-40页
   ·电铸阳极优化设计第40-43页
     ·电铸阳极设计方案第40-41页
     ·在 ANSYS 平台上使用 APDL 语言实施电铸阳极设计方案第41-43页
   ·复杂型面电铸阳极设计实例第43-46页
     ·初始无电场突变的情况第43-44页
     ·初始有电场突变的情况第44-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 喷管模拟件电铸试验装置设计第47-54页
   ·电铸试验装置系统第47-50页
     ·试验装置总体结构第47-48页
     ·芯模及其运动第48-49页
     ·电铸槽第49页
     ·电铸液系统第49-50页
     ·电源第50页
   ·电铸阳极第50-52页
     ·主阳极第50-51页
     ·辅助阳极第51-52页
   ·夹具设计第52-53页
   ·本章小结第53-54页
第五章 电沉积均匀性试验第54-57页
   ·喷管模拟件试验过程第54-55页
   ·试验结果及讨论第55-56页
     ·电铸层的厚度分布第56页
     ·对测试结果的讨论第56页
   ·本章小结第56-57页
第六章 总结与展望第57-59页
   ·论文工作总结第57页
   ·对未来工作的展望第57-59页
参考文献第59-63页
致谢第63-64页
硕士研究生期间发表的论文第64页

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