基于泄漏模共振效应的微纳光子传感器
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| §1.1 泄漏模共振效应的由来 | 第12-15页 |
| §1.2 泄漏模共振效应的发展现状 | 第15-16页 |
| §1.3 泄漏模共振效应的应用 | 第16-18页 |
| §1.4 本论文研究内容 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 泄漏模共振效应 | 第23-41页 |
| §2.1 衍射光栅 | 第23-26页 |
| §2.2 泄漏模共振效应原理 | 第26-27页 |
| §2.3 共振条件 | 第27-29页 |
| §2.4 共振结构的波导分析 | 第29-33页 |
| §2.5 共振态的相位分析 | 第33-35页 |
| §2.6 共振态的驻波场特性分析 | 第35-38页 |
| §2.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 第三章 共振滤波器的分析与设计 | 第41-77页 |
| §3.1 薄膜基础 | 第41-44页 |
| §3.2 等效介质理论 | 第44-46页 |
| §3.3 严格耦合波理论 | 第46-54页 |
| §3.4 共振滤波器的经典结构 | 第54-55页 |
| §3.5 窄带滤波 | 第55-64页 |
| §3.5.1 线宽控制 | 第56-59页 |
| §3.5.2 旁带抑制 | 第59-64页 |
| §3.6 宽带滤波 | 第64-71页 |
| §3.6.1 非均匀光栅结构 | 第65-67页 |
| §3.6.2 夹心光栅结构 | 第67-71页 |
| §3.7 截止滤波 | 第71-72页 |
| §3.8 本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 第四章 共振滤波器的制备与误差分析 | 第77-104页 |
| §4.1 共振滤波器的制备工艺 | 第77-78页 |
| §4.2 结构参数的误差分析 | 第78-82页 |
| §4.3 设计光谱 | 第82页 |
| §4.4 镀膜及测试 | 第82-84页 |
| §4.5 全息曝光 | 第84-86页 |
| §4.6 刻蚀 | 第86-88页 |
| §4.7 测试与分析 | 第88-94页 |
| §4.7.1 结构参数测试与分析 | 第88-91页 |
| §4.7.2 光谱性能测试与分析 | 第91-94页 |
| §4.8 误差的动态补偿分析 | 第94-101页 |
| §4.9 本章小结 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-104页 |
| 第五章 共振光子生物传感器灵敏度分析 | 第104-114页 |
| §5.1 引言 | 第104-106页 |
| §5.2 共振光子生物传感器的灵敏度分析 | 第106-110页 |
| §5.2.1 折射率灵敏度 | 第106-108页 |
| §5.2.2 厚度灵敏度 | 第108-110页 |
| §5.3 本章小结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-114页 |
| 第六章 总结与展望 | 第114-116页 |
| §6.1 主要研究成果 | 第114页 |
| §6.2 论文主要创新点 | 第114-115页 |
| §6.3 需要进一步解决的问题 | 第115-116页 |
| 在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117页 |
