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导模共振亚波长器件的机理及特性研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
目录第10-13页
第一章 绪论第13-23页
 §1.1 衍射光学的发展概述第13-14页
 §1.2 衍射光栅的分类及其应用第14-15页
 §1.3 导模共振“异常”第15-17页
 §1.4 导模共振滤光片研究进展及应用第17-20页
  §1.4.1 导模共振机理的研究进展第18-19页
  §1.4.2 导模共振滤光片的设计及应用的研究进展第19-20页
  §1.4.3 导模共振滤光片的制备进展第20页
 §1.5 本文的研究内容第20-23页
第二章 严格的耦合波分析方法第23-42页
 §2.1 光栅衍射理论简介第23-28页
  §2.1.1 光栅衍射理论——积分方法第24-25页
  §2.1.2 光栅理论——模式方法第25-26页
  §2.1.3 光栅理论——耦合波方法第26-28页
 §2.2 矩形光栅的严格耦合波分析方法第28-40页
  §2.2.1 矩形槽光栅中 TE 偏振波入射时的衍射第29-34页
  §2.2.2 矩形槽光栅中 TM 偏振波入射时的衍射第34-36页
  §2.2.3 入射平面与光栅槽的夹角为任意值时的衍射第36-40页
 §2.3 本章小结第40-42页
第三章 导模共振亚波长滤光器件的特性分析第42-62页
 §3.1 导模共振效应第42-44页
 §3.2 等效波导模型第44-47页
  §3.2.1 单层周期波导第44-45页
  §3.2.2 多层周期波导第45-46页
  §3.2.3 导模共振位置第46-47页
 §3.3 波导结构参数的变化对导模共振特性的影响第47-52页
  §3.3.1 光栅周期对导模共振现象的影响第47-48页
  §3.3.2 入射角对导模共振现象的影响第48-49页
  §3.3.3 调制系数对导模共振现象的影响第49页
  §3.3.4 填充系数对导模共振现象的影响第49-50页
  §3.3.5 入射模式对导模共振现象的影响第50-51页
  §3.3.6 光栅槽深及薄膜厚度对导模共振现象的影响第51-52页
 §3.4 双层导模共振滤光片制作过程中的刻蚀误差及其调整方法第52-57页
  §3.4.1 双层导模共振滤光片制作过程中的刻蚀误差分析第53-55页
  §3.4.2 双层导模共振滤光片制作过程中刻蚀误差的调整技术第55-57页
 §3.5 单层导模共振滤光片的电场分析第57-59页
 §3.6 导模共振滤光片结构的设计方法第59-61页
 §3.7 本章小结第61-62页
第四章 可调谐导模共振滤光片第62-79页
 §4.1 可调谐导模共振滤光片的研究现状及应用第62页
 §4.2 方位角调谐导模共振滤光片第62-66页
  §4.2.1 方位角对导模共振效应的影响分析第62-63页
  §4.2.2 方位角调谐的导模共振滤光片设计第63-66页
 §4.3 电控聚合物分散液晶材料折射率可调谐导模共振滤光片第66-73页
  §4.3.1 聚合物分散液晶材料的特性介绍第67-68页
  §4.3.2 电控聚合物分散液晶的折射率研究第68-70页
  §4.3.3 电控 PDLC 折射率调谐导模共振滤光片的设计第70-73页
 §4.4 双通道光谱能量调谐导模共振滤光片的设计第73-78页
 §4.5 本章小结第78-79页
第五章 导模共振滤光片的设计及实验制备第79-102页
 §5.1 微波波段导模共振超材料的设计第79-81页
  §5.1.1 超材料的研究现状第79-81页
  §5.1.2 微波波段导模共振超材料的设计及应用第81页
 §5.2 亚波长红外光波段导模共振滤光片的设计第81-82页
 §5.3 亚波长可见光波段导模共振滤光片的制备第82-99页
  §5.3.1 基片处理第83-85页
  §5.3.2 镀膜及膜厚测试第85-86页
  §5.3.3 光刻胶特性及匀胶工艺的研究第86-89页
  §5.3.4 前烘第89-90页
  §5.3.5 全息曝光光路及周期、强度的控制与分析第90-98页
  §5.3.6 显影及后烘第98页
  §5.3.7 离子束刻蚀工艺研究第98-99页
 §5.4 亚波长导模共振滤光片的测试第99-101页
 §5.5 本章小结第101-102页
第六章 导模共振亚波长器件的应用研究第102-111页
 §6.1 引言第102页
 §6.2 理论计算第102-108页
 §6.3 误差分析第108-110页
 §6.4 本章小节第110-111页
第七章 总结与展望第111-113页
参考文献第113-127页
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果第127-131页
致谢第131页

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