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脉冲激光沉积法制备铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4)薄膜的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-26页
   ·研究背景第9-10页
   ·太阳能电池的理论背景第10-18页
     ·太阳辐射第11-12页
     ·本征半导体、p型半导体及n型半导体第12-13页
     ·费米能级第13页
     ·P-N结中空间电荷区第13-14页
     ·P-N结二极管的Ⅳ特性第14-15页
     ·太阳能电池的基本特性第15-17页
     ·太阳能电池的等效电路第17-18页
   ·薄膜太阳能电池第18-21页
     ·太阳能电池的结构第19页
     ·薄膜太阳能电池吸收层材料第19-21页
   ·CZTS太阳能电池第21-25页
     ·CZTS的结构与性能第21-22页
     ·CZTS化合物的反应过程第22页
     ·CZTS薄膜及其太阳能电池的研究现状第22-25页
   ·本论文的主要工作第25-26页
第二章 实验材料与方法第26-31页
   ·衬底材料的选择与清洗第26页
     ·衬底材料的选择第26页
     ·衬底材料的清洗第26页
   ·靶材第26-28页
   ·脉冲激光沉积系统第28-29页
   ·薄膜的结构与性能表征第29-31页
     ·薄膜的晶体结构分析—X射线衍射分析第29页
     ·薄膜的表面形貌和成分分析—扫描电子显微镜和能谱分析第29页
     ·薄膜的表面形貌和粗糙度分析—原子力显微镜第29-30页
     ·薄膜的光学性能分析—紫外可见分光光度计第30-31页
第三章 CZTS薄膜的脉冲激光沉积工艺研究第31-47页
   ·脉冲激光能量对CZTS薄膜结构的影响第31-37页
     ·样品的制备第31-32页
     ·脉冲激光能量对CZTS薄膜结晶取向的影响第32-33页
     ·脉冲激光能量对CZTS薄膜晶粒大小的影响第33-34页
     ·脉冲激光能量对CZTS薄膜表面形貌的影响第34-37页
     ·小结第37页
   ·衬底温度对CZTS薄膜结构的影响第37-45页
     ·样品的制备第37-38页
     ·衬底温度对CZTS薄膜结晶取向的影响第38-39页
     ·衬底温度对CZTS薄膜晶粒大小的影响第39-40页
     ·衬底温度对CZTS薄膜表面形貌的影响第40-43页
     ·EDS分析第43-45页
     ·小结第45页
   ·CZTS薄膜的光学性能研究第45-47页
第四章 结论第47-48页
参考文献第48-53页
致谢第53-54页
攻读硕士期间发表的论文第54页

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