深度传感器的研制与实验
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| ·课题背景及研制的目的和意义 | 第9页 |
| ·国内外压力传感器的发展现状 | 第9-10页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第10-12页 |
| 第2章 传感器工作原理及总体设计 | 第12-21页 |
| ·机械开关工作原理 | 第12-13页 |
| ·压力芯体工作原理 | 第13-19页 |
| ·压阻效应 | 第13-14页 |
| ·单晶硅压阻效应 | 第14-18页 |
| ·压阻式压力传感器信号转换原理 | 第18-19页 |
| ·传感器总体设计 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 传感器详细设计 | 第21-45页 |
| ·传感器的敏感芯体设计 | 第21-31页 |
| ·传感器芯片结构的设计 | 第22-29页 |
| ·芯体波纹膜片的设计 | 第29-30页 |
| ·硅油的选择 | 第30页 |
| ·注油孔封堵设计 | 第30-31页 |
| ·管座的玻璃烧结技术 | 第31页 |
| ·温度补偿网络设计 | 第31-33页 |
| ·热零点漂移及其补偿 | 第32-33页 |
| ·热灵敏度漂移及其补偿 | 第33页 |
| ·传感器调理电路设计 | 第33-35页 |
| ·元器件性能参数 | 第33-34页 |
| ·恒流源电路设计 | 第34页 |
| ·传感器调理电路设计 | 第34-35页 |
| ·机械开关焊接波纹管设计 | 第35-39页 |
| ·焊接波纹管的概述 | 第35-36页 |
| ·膜片材料的选用 | 第36-37页 |
| ·波纹膜片参数的确定 | 第37-39页 |
| ·开关的选择 | 第39-40页 |
| ·微动开关简介 | 第39页 |
| ·微动开关的选择 | 第39-40页 |
| ·电磁兼容设计 | 第40-41页 |
| ·可靠性设计 | 第41-44页 |
| ·传感器失效模型 | 第41-42页 |
| ·传感器可靠性预计 | 第42页 |
| ·元器件降额设计 | 第42-43页 |
| ·结构可靠性校验 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第 4 章 深度传感器工艺设计 | 第45-53页 |
| ·工艺流程 | 第45页 |
| ·各向异性腐蚀工艺控制 | 第45-47页 |
| ·静电键合控制 | 第47-48页 |
| ·注油工艺控制 | 第48-49页 |
| ·波纹管组件的制作工艺 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 传感器测试及试验结果分析 | 第53-58页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·压力传感器的主要特性指标 | 第53页 |
| ·传感器的测试方案 | 第53-54页 |
| ·测试结果 | 第54-56页 |
| ·测试结果分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 个人简历 | 第64页 |
