衬底偏压对磁头表面超薄DLC膜的结构和性能的影响
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第11页 |
| ·磁头简介 | 第11-14页 |
| ·DLC薄膜发展现状、性能、应用与制备方法 | 第14-18页 |
| ·类金刚石膜简介 | 第14-15页 |
| ·类金刚石膜的发展 | 第15-16页 |
| ·类金刚石膜的性能与应用 | 第16-17页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第17-18页 |
| ·磁过滤真空阴极弧的发展、性能与应用 | 第18-22页 |
| ·FCVA简介 | 第18-19页 |
| ·FCVA的发展 | 第19-20页 |
| ·FCVA的工作原理 | 第20-21页 |
| ·FCVA的特点 | 第21-22页 |
| ·FCVA的应用 | 第22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 类金刚石薄膜的制备与表征 | 第24-35页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第24-27页 |
| ·类金刚石薄膜的表征方法 | 第27-34页 |
| ·Raman光谱仪 | 第27-28页 |
| ·XPS光谱仪 | 第28-30页 |
| ·接触角测量仪 | 第30页 |
| ·原子力显微镜 | 第30-32页 |
| ·椭偏仪 | 第32页 |
| ·电阻测量仪 | 第32-33页 |
| ·球-盘摩擦实验机 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 类金刚石薄膜的结构分析 | 第35-49页 |
| ·类金刚石薄膜的物理结构 | 第35-43页 |
| ·可见光拉曼(Visible Raman) | 第35-40页 |
| ·紫外光拉曼(UV Raman) | 第40-43页 |
| ·类金刚石薄膜的化学结构 | 第43-48页 |
| ·XPS成分分析 | 第43-44页 |
| ·化学结构分析 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 类金刚石薄膜的表面状态与性能分析 | 第49-65页 |
| ·类金刚石薄膜的表面状态 | 第49-52页 |
| ·抗腐蚀性能 | 第52-55页 |
| ·摩擦学性能 | 第55-58页 |
| ·吸附性能 | 第58-61页 |
| ·电学性能 | 第61-63页 |
| ·光学性能 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
