差分式双轴加速度传感器的系统仿真及分析

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-18页
·微电子机械系统	第8-9页
·加速度传感器	第9-17页
·加速度传感器的分类	第9-15页
·加速度传感器的应用	第15-17页
·本课题的研究的目的和意义	第17页
·本课题主要的研究内容	第17-18页
第2章 双轴加速度传感器的工作原理	第18-32页
·双轴加速度传感器的数学模型	第18-20页
·梳状电极加速度计检测原理	第20-23页
·加速度传感器电容检测原理	第21-22页
·双轴加速度传感器的电学原理	第22-23页
·双轴加速度传感器系统检测机理	第23-28页
·基于时分原理的双轴加速度计检测机理	第24-26页
·基于频分原理的双轴加速度计检测机理	第26-28页
·双轴加速度计的阻尼及机械噪声分析	第28-31页
·阻尼分析	第29-30页
·机械噪声分析	第30-31页
·本章小结	第31-32页
第3章 双轴加速度传感器的设计与系统仿真	第32-54页
·双轴加速度传感器结构设计	第32-35页
·双轴加速度传感器结构仿真	第35-47页
·静态分析	第36-42页
·模态分析	第42-46页
·工艺仿真	第46-47页
·双轴加速度传感器系统设计仿真	第47-52页
·系统建模	第48-49页
·系统结果分析	第49-52页
·本章小结	第52-54页
第4章 双轴加速度传感器的测试分析	第54-63页
·双轴加速度传感器结构芯片	第54-55页
·加速度传感器的测试分析	第55-61页
·加速度传感器的静态测试	第55-57页
·加速度传感器的动态测试	第57-61页
·本章小结	第61-63页
结论	第63-65页
参考文献	第65-69页
攻读学位期间发表的学术论文	第69-71页
致谢	第71页