高精度大量程位移测量与校准器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·选题的目的和意义 | 第8页 |
| ·高精密位移测量背景与现状 | 第8-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 位移测量和校准器原理设计 | 第16-26页 |
| ·系统位移测量原理 | 第16-17页 |
| ·系统基本原理 | 第17-25页 |
| ·激光干涉原理 | 第17-19页 |
| ·偏振相移原理 | 第19-20页 |
| ·条纹细分原理 | 第20-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 系统总体设计 | 第26-34页 |
| ·系统结构 | 第26-27页 |
| ·光路机械结构 | 第27-28页 |
| ·偏振相移机构及驱动 | 第28-31页 |
| ·位移驱动机构 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 信号处理电路 | 第34-40页 |
| ·光电转换原理 | 第34-35页 |
| ·电流/电压（I/V）转换 | 第35-37页 |
| ·前置信号放大电路 | 第37-38页 |
| ·条纹硬件四细分处理 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5 系统架构及实验 | 第40-47页 |
| ·系统架构 | 第40页 |
| ·相移细分实验 | 第40-45页 |
| ·位移测量和校准实验方案 | 第45页 |
| ·影响精度的因素分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 6 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·全文总结 | 第47页 |
| ·展望及今后工作建议 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第53-54页 |
| 附录2 程序 | 第54-59页 |
